XY轴位移台 EZ-0745-ZC

Z轴旋转气浮

EZ-0745 气浮 ZC 轴用于与 XY 平台（如 EZ-0715）集成。由于采用了高度集成的设计，因此只需要约 138 mm 的较低总体高度。旋转角度限制在 ± 3°。重复精度高达 ± 1.5 μrad，能够非常精确地对准基板。Z 轴通过 2 个空气轴承垫防止旋转，并由 2 个相对的音圈动态驱动。还集成了一个空气轴承气缸，用于重量解耦。可根据客户要求对 Z 轴行程进行单独调整。