SmarAct直接传动位移台

运行行程: 25 mm
速度: 350 mm/s
重复精度: 40 nm

... SMARSHIFT MLS-3252 是一款采用电磁 直接驱动的微型精密线性平台。其紧凑的尺寸简化了与现有系统的集成，并为您的应用留出了足够的空间。由于与 SMARBOTIC 模块化系统兼容，它可以与 CLS 系列和其他 SmarAct 定位器轻松组合。 应用 MLS-3252 专为工业制造中的高要求任务而设计，包括微组装、拾取和贴装操作，以及粘合工艺中部件的对准和调整。其他应用领域还包括高精度计量（如飞扫程序）、超精细增材制造以及半导体和光电子行业中光学元件的精确对准。作为同精度等级中最小的定位器 ...

运行行程: 38 mm
速度: 750 mm/s
重复精度: 40 nm

... SMARSHIFT MLS-5282 是一款采用电磁 直接驱动的精密线性平台。其紧凑的尺寸简化了与现有系统的集成，并为您的应用留出了足够的空间。由于与 SMARBOTIC 模块化系统兼容，它可以与 CLS 系列和其他 SmarAct 定位器轻松组合。 应用领域 MLS-5282 专为工业制造中的高要求任务而设计，包括微组装、拾取和贴装操作，以及粘合工艺中部件的对准和调整。其他应用领域还包括高精度计量（如飞扫程序）、超精细增材制造以及半导体和光电子行业中光学元件的精确对准。 ...

运行行程: 65 mm
速度: 900 mm/s
重复精度: 40 nm

... SMARSHIFT MLS-92122 是一款采用电磁 直接驱动的精密线性平台。其紧凑的尺寸简化了与现有系统的集成，并为您的应用留出了足够的空间。由于与 SMARBOTIC 模块化系统兼容，它可以与 CLS 系列和其他 SmarAct 定位器轻松组合。 应用 MLS-92122 专为工业制造中的高要求任务而设计，包括微组装、拾取和贴装操作，以及粘合工艺中部件的对准和调整。其他应用领域还包括高精度计量（如飞扫程序）和超精细增材制造。它的承载能力更强，能够承受更重的重量，非常适合于对精度和坚固性都有要求的应用 ...

运行行程: 300, 200 mm
速度: 200 mm/s
重复精度: 100, 200 nm

... SMARSHIFT MLL-400 是一种电磁 直接驱动 XY 平台，有两种行程选择。第一个选项提供高达 300 毫米的大行程范围。第二种行程范围缩小至 200 毫米，以提高精度。两个版本均可安装在带有 25 mm × 25 mm 栅格的标准光学面包板上。 MLL-400 可用作电磁 TRIPOD 的底座。 应用 MLL-400 专为工业制造中的高要求任务而设计，包括微组装、拾取和贴装过程以及工件对准。其他应用领域包括高精度增材制造、晶片定位和激光加工。 ...

运行行程: 102 mm - 405 mm
速度: 2,000 mm/s
重复精度: 45 nm

... SMARSHIFT MLL-82 是一种电磁 直接驱动定位器，可根据您的个性化要求调节行程范围。定位器的长度增量为 100 毫米。 它可以方便地与 MLS 系列平台组合使用。 图中所示的是 MLL-82500，行程超过 400 mm，带有用于电缆布线的能量链。 应用 MLL-82 专为工业制造中的高要求任务而设计，包括微组装、拾取和贴装过程以及龙门系统中工具的精确移动。它的长移动距离和高精度使其成为激光打标、激光切割和激光钻孔等现代制造方法的理想选择。在半导体技术和光电子领域，MLL ...

... SMARSHIFT MR-9224是一款采用电磁直驱技术的紧凑型旋转平台。它兼具高速运行与长寿命特性，且精度毫不妥协。紧凑的尺寸与25毫米孔径设计，使其能轻松集成至现有系统，同时为您的应用留出充足空间。凭借与MLS-92122及SMARBOTIC模块化系统的兼容性，可轻松组合CLS系列及其他SmarAct定位器，实现最大灵活性。 应用领域 MR-9224旋转平台专为工业制造中的高要求任务设计，涵盖微组装、拾取放置工艺，以及粘合工艺中组件的对准与调整。其他应用领域包括激光加工（如激光钻孔、激光切割、激光标记）以及半导体与光子学产业中的晶圆定位。 机械参数 最大法向力 ...

... SMARSHIFT MR-30028 旋转平台是一款大面积旋转台，直径 300 毫米，大孔径 110 毫米。它具有高转速、高扭矩和长使用寿命等特点，而且精度极高。它占地面积小，外形低矮，可简化与现有系统的集成，并为您的应用留出足够的空间。 应用 MR-30028 旋转台专为晶圆旋转平台而设计。作为一个最大可容纳 300 毫米（12 英寸）晶圆的平台，它可用于计量方法（如反射测量、反射光谱、光谱椭偏仪 (VASE) 等）或制造（用于晶圆键合、EUV 光刻等）。其他应用领域包括光子学工业和天文学中较重物体的光学对准。 ...

运行行程: 12 mm

... 该系统基于两台SLC-1720微型线性 位移台，每台的行程范围为12毫米，能够承载最大20牛顿的负载。 机械参数 负载 [N] - 10 闭环 传感器分辨率 MCS2 [nm] - 1 (S) ...