Physik Instrumente/德国PI线性位移台

重复精度: 1 µm
载荷: 4 kg

... PIglide 微型 线性平台具有 线性电机驱动、预载空气轴承和集成式直线光栅。该平台占地面积小，但精度极高。非接触式组件的组合实现了无摩擦运动，具有出色的动态性能、纳米级定位精度和超长的使用寿命。 为建立 XYZ 系统，A-143 提供垂直安装选项，包括制动器和平衡器。 附件和选件 PIglide 过滤器和空气准备套件 单轴和多轴运动控制器 带制动器和气动平衡的型号，用于垂直安装 应用领域 该平台非常适合许多高精度和高动态应用，如计量、检测、光纤定位、光学定位、扫描和图案化。 线性平台采用非接触式设计 ...

运行行程: 5, 25, 15 mm
速度: 1.5, 1 mm/s
重复精度: 0.25, 2 µm

... 适用真空度高达 10-6 hPa 采用折叠式驱动，结构非常紧凑 闭环直流电机 非接触式基准和限位开关 可直接安装 XY 装置 紧凑型 线性平台，用途广泛 折叠式带驱动直线运动平台，结构紧凑。透明孔径为 10 mm Ø，可直接安装 XY 装置，无需转接板。 减少排气，尤其适合在真空环境中使用 最值得注意的是，导轨和主轴的润滑采用了放气极少的材料。有了这种材料以及 PI V6 真空等级的其他改进，该定位器可在 10-6hPa 下使用。 驱动装置 闭环直流减速电机 间隙补偿螺纹主轴 位置测量 ...

运行行程: 50 µm - 240 µm
重复精度: 5, 10 nm

... 压电推杆带来的出色使用寿命 - 清晰的孔径66毫米×66毫米 - 由于电容式传感器而具有最高的 线性度 - 计量学 - 干涉测量 - 光子学/集成光学 - 光刻技术 - 纳米定位 - 扫描显微镜 - 样品对准 - 微机械加工 电容式传感器的亚纳米级分辨率 电容式传感器以亚纳米的分辨率进行测量，无需接触。它们保证了出色的运动 线性度、长期稳定性和kHz范围内的带宽。 自动配置和快速组件交换 机械装置和控制器可以根据需要进行组合并快速交换。所有的伺服和 线性化参数都存储在机械装置的D-sub连接器的ID芯片中。数字控制器的自动校准功能在每次打开控制器时都使用这些数据 ...

运行行程: 100, 400, 800 µm
重复精度: 50, 10 nm

... 使用电容式传感器直接测量位置最高 线性度 - 直径为 29 毫米的大光圈 应用领域 - 三维成像 - 筛选 - 干涉测量 - 测量技术 - 自动对焦系统 - 生物技术 - 半导体检测 PICMA® 压电致动器的超长使用寿命 PICMA® 压电执行器采用全陶瓷绝缘。这可防止潮湿和漏电流增加导致的故障。PICMA® 执行器的使用寿命是传统聚合物绝缘执行器的 10 倍。经证实，1,000 亿次循环无一故障。 电容式传感器的亚纳米分辨率 电容式传感器以亚纳米分辨率进行测量，无需接触。电容式传感器可确保出色的 线性运动、长期稳定性以及千赫兹范围内的带宽 ...

运行行程: 100, 200 µm

... ,000 亿次循环无一故障。 零间隙挠性导轨实现高导向精度 挠性导轨免维护、无摩擦、无磨损、无需润滑。其刚度大，承载能力强，对冲击和振动不敏感。工作温度范围广。 自动配置和快速部件更换 机械装置和控制器可根据需要进行组合并快速交换。所有伺服和 线性化参数都存储在机械装置 D-sub 接口的 ID 芯片中。每次打开控制器时，数字控制器的自动校准功能都会使用这些数据。 丰富的软件可快速启动生产运行 由于支持 MATLAB 和 NI LabVIEW 以及所有常见的操作系统（Windows、Linux ...

运行行程: 22 mm
速度: 0.2 m/s
重复精度: 0.2 µm

... 的高频交流电压激励下产生超声波振荡。致动器的变形导致耦合元件相对于转轮的周期性对角运动。每周期产生的进给量为几纳米；高频率导致高速度。压电陶瓷致动器对转轮的预紧确保了驱动装置在静止和关闭时的自锁。 利用增量式 线性编码器进行高精度位置测量 非接触式光学编码器可直接在平台上测量位置，精度极高。非 线性、机械间隙或弹性变形对测量没有影响。 ...

运行行程: 26, 13 mm
速度: 8 mm/s
重复精度: 100, 200 nm

... - 宽度仅为 45 毫米 - 驱动力 7 N - 位置分辨率为纳米的增量式传感器 - 可进行 XY 组合，无需转接板 压电惯性驱动 压电惯性驱动装置是一种节省空间、经济实惠的压电驱动装置，具有相对较高的保持力和几乎无限的行程范围。惯性驱动原理基于单个压电致动器，该致动器由专用驱动电子装置提供的改良锯齿电压控制。致动器缓慢膨胀并移动转轮。由于其惯性，转轮无法跟随致动器随后的快速收缩而保持在原位。驱动装置的工作频率高达 20 kHz，直接作用于转轮，速度最高可达 8 mm/s。8 mm/s。 直接测量原理 直线运动平台配有非接触式直线光栅尺和基准开关。分辨率为 ...

运行行程: 25 mm
速度: 0.02 m/s
重复精度: 0.15, 0.2, 1 µm

... - 集成 线性编码器，可实现最高精度，分辨率为 0.1 µm - 最小增量运动 0.2 µm - 循环滚珠丝杠提供高速度和长使用寿命 利用增量式 线性编码器进行高精度位置测量 非接触式直线光栅可直接在平台上测量位置，精度最高。非 线性、机械间隙或弹性变形对测量没有影响。 应用领域 光学对准。精密自动化 ...

运行行程: 304, 102, 610, 407, 204 mm
速度: 300, 100 mm/s
重复精度: 5 µm

... 宽度：114 毫米，行程范围达 610 毫米 精密滚珠丝杠，最大承重 50 公斤 步进电机或伺服电机 采用折叠式传动系统，设计紧凑 垂直安装的机型配有固定制动器 功能强大的 线性平台，适用于要求苛刻的工业应用场合 精密滚珠丝杠、高性能步进电机或同步伺服电机、重型循环滚珠轴承和精密旋转编码器可在高负载条件下持续可靠地运行。可选的抱闸可用作 Z 轴。滚珠丝杠可从外部重新润滑，无需拆卸，确保了高可靠性和长使用寿命。 领先的设计 L-812 系列的循环滚珠轴承导轨具有高承载能力和高动态性能。电机的高分辨率提高了跟踪性能 ...

运行行程: 102 mm - 813 mm
速度: 2 m/s
重复精度: 0.5 µm

... - 宽度 166 毫米 - 标称力 87 N - 增量式或绝对式 线性编码器 - 精密循环滚珠轴承，负载能力达 450 N - 侧面有覆盖条，防止颗粒进入 参考级直线定位器 通过 V-417，PI 为工业解决方案提供了带直线电机的高精度直线运动平台。其设计始终符合苛刻的工业条件，并以高刚性和使用高质量组件为特点：高性能无铁直线电机、重型循环滚珠轴承导轨和精密增量式直线光栅。编码器的高分辨率实现了出色的跟踪性能、较小的跟踪误差和较短的稳定时间。为了获得最大的灵活性，可以选择增量式编码器和绝对式编码器 ...