Nikon零件测量系统

... 成像型探头与探测选项具低探测误差，适合微小特征 测量（P_FV2D,MPE 0.3 µm；P_F2D,MPE 0.8 µm）。

核心功能

• 通过多种高NA光学实现不同放大倍数下的高精度、高速度尺寸测量。
• 多样化照明策略与专用选件，提升难测边缘和复杂特征的测量可靠性。
• 提供黑白/彩色1/3" CMOS相机与无缝光学变焦，支持检査流程中的观察与测量转换。
• 兼容Nikon测量软件及可选SDK，支持自动化与数据管理

... VMA系列具有大视场、长工作距离和宽XYZ行程，为各种3D部件的自动 测量提供超强适用性。 通过宽视场进行各种 测量应用 iNEXIV VMA系列提供3大类机型，带有宽视场光学器件和接触式探头接口，是使用视觉和接触式 测量的各种工业 测量、检查和质量控制应用的理想选择。 长工作距离 73.5 mm长工作距离。最适用于高度变化大、凸台高、细孔、深孔等的深度 测量。 接触式 测量（选配） 能够 测量不可见特征的尺寸和角度，例如 零件侧面的孔。 ...

... 提供了迄今为止所有激光雷达中最快的特征 测量，可以在生产线的时间内对关键特征进行检测，或者采用抽样策略在一组车体上覆盖更多的特征，实现真正的过程控制。 与CAD的直接比较 在全自动机器人 测量解决方案中使用APDIS 系统，为白车身（BIW）检测引入了一种创新方法。 独立于机器人的精度 机器人定位激光雷达以提供所需特征的视线。然后，激光雷达通过 测量夹具上的工装球，自动重新定位到 零件上。 提高检测效率 APDIS激光雷达解决方案的 测量速度是传统CMM的6倍以上，可以大大增加 测量产量。 随着白车身检测向质量4.0 ...

... 典型使用案例

• 探针卡检测：在单一视野内实现 2D/高度同时采集，提升吞吐并支持长尺寸测量。
• 晶圆检测与 WLP：45× 物镜支持超微小特征量测；共焦系统适应反射与透明层测高。
• 基板生产与精密 QA：对薄膜/透明材料实现可靠测量，并可进行长尺寸的坐标测量。

... VMA系列具有大视场、长工作距离和宽XYZ行程，为各种3D部件的自动 测量提供超强适用性。 通过宽视场进行各种 测量应用 iNEXIV VMA系列提供3大类机型，带有宽视场光学器件和接触式探头接口，是使用视觉和接触式 测量的各种工业 测量、检查和质量控制应用的理想选择。 长工作距离 73.5 mm长工作距离。最适用于高度变化大、凸台高、细孔、深孔等的深度 测量。 接触式 测量（选配） 能够 测量不可见特征的尺寸和角度，例如 零件侧面的孔。 ...

... VMA系列具有大视场、长工作距离和宽XYZ行程，为各种3D部件的自动 测量提供超强适用性。 通过宽视场进行各种 测量应用 iNEXIV VMA系列提供3大类机型，带有宽视场光学器件和接触式探头接口，是使用视觉和接触式 测量的各种工业 测量、检查和质量控制应用的理想选择。 长工作距离 73.5 mm长工作距离。最适用于高度变化大、凸台高、细孔、深孔等的深度 测量。 接触式 测量（选配） 能够 测量不可见特征的尺寸和角度，例如 零件侧面的孔。 ...