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... 这是 HORIBA 最畅销的数字式 质量 流量控制器。它具有多量程/多气体功能，用户能够快速方便地现场更改气体类型或满量程 流量。 该 质量 流量控制器具有高精度（+/- 1.0% 设定点）、压电阀、高速响应和全金属特性，可提高制程良率，简化零件管理。支持数字/模拟、DeviceNet™ 和 EtherCAT® 通信模式。 高精度 ...
HORIBA STEC
... SEC-N100 系列适用于各种行业和应用。该 质量 流量控制器可以控制不同范围的 流量：10 SCCM 至 1000 SLM。SEC-N100 系列还支持各种通信模式，即数字/模拟、DeviceNet™、CC-Link™ 、PROFIBUS™ 和 EtherCAT® 。SEC-N100 系列提供高精度（+/- 1.0% 设定点 *1）和高速响应。该 质量 流量控制器还具有多气体/多量程功能，可降低制程成本。 *1 ...
HORIBA STEC
流量: 3 l/min - 150 l/min
压力: 1 bar - 3 bar
... 系列可在 15℃ 至 120℃ 的高温环境下工作，用于半导体和化合物半导体加工在内的各种工作任务。 配备数字设备：高精度 - ±1.0% 设定点 高速响应 超洁净设计 符合 RoHS 标准 ...
HORIBA STEC
压力: 1 bar - 3 bar
... 可实现稳定的 流量控制。集成压力测量降低了气体输送系统的成本、尺寸和复杂性。 压力补偿 新功能简化了供气系统。典型的多腔室气体管线具有管线 调节器、压力传感器和过滤器，以避免由压力波动引起的 质量 流量控制器串扰现象。SEC-Z700X 系列可以不受上流和下流压力的影响，提供稳定的 流量控制。提供 流量输出、温度和压力读数。 ...
HORIBA STEC
流量: 0 us gal/min - 100 us gal/min
压力: 1 bar - 3 bar
... 系列数字式液体 质量 流量控制器采用珀尔帖元件冷却液体，而非更常见的热交换方法。该技术消除了低沸点化学物质沸腾的风险，从而实现更安全的化学控制。 提供微升至超低 流量控制 实现低沸点和高粘度液体材料的精确 流量控制 超洁净设计 测量技术 冷却测量方法 该系列液体 质量 流量控制器中的 流量传感器由与毛细管接触的电子冷却元件（珀尔帖元件）以及几个温度检测元件组成。当液体流动时，传感器检测对应 流量的温升（ΔT），并以 流量显示。与热交换不同，这种冷却方法能够测量低沸点液体的 流量。此外，该方法还能防止由于二次排放 ...
HORIBA STEC
压力: 3, 4 bar
... GR-511F 可以控制用于冷却由静电吸盘系统固定位置的晶片背面的气体。 GR-511F 的稳定性和精确性使其成为控制晶片冷却系统中氦气和氩气 流量的理想选择。 特点 压力控制更稳定、更精确 质量 流量传感器（选配） 与各种接头兼容 符合 RoHS 规范 应用示例 在下面的示例中，GR-511F 控制用于冷却由静电吸盘系统固定的晶片背面的气体。 阀门类型 - ...
HORIBA STEC
流量: 0 l/min - 2 l/min
... 这种通用 质量 流量控制器具有可靠的热传感器和电磁阀，可实现高水平的气流控制。作为一种多功能组件，SEC-E 系列 质量 流量控制器可用于各种行业。 通过 质量 流量控制器的气流可控制在不同的 流量范围内 配备可靠的热传感器和电磁阀 流量控制范围广 ...
HORIBA STEC