HORIBA STEC质量流量调节器

压力: 3, 4 bar

... GR-511F可以控制用于冷却由静电卡盘系统固定位置的晶圆背面的气体。 GR-511F的稳定性和准确性使其成为控制晶圆冷却系统中氦气和氩气流量的理想选择。 特点 压力控制更加稳定和精确 质量流量传感器（可选）。 适用于各种配件 符合RoHS标准 应用实例 在下面的例子中，GR-511F正在控制用于冷却由静电卡盘系统固定位置的晶圆背面的气体。 ...

... 多范围/多气体数字质量流量控制器 这是HORIBA最畅销的数字质量流量控制器的型号。它具有多量程/多气体功能，使用户能够快速、方便地改变气体类型或现场满量程流速。 高精度+/- 1.0% S.P，压电执行器阀门，高速响应和全金属，这种质量流量控制器适用于提高工艺产量和简化零件管理。数字/模拟、DeviceNet™和EtherCAT®通信均可使用。 高精度±1.0% ...

... SEC-N100系列适用于大量的行业和应用。这种质量流量控制器可以控制很大范围的流量：从10 SCCM到1000 SLM。SEC-N100系列还具有各种类型的通信，即数字/模拟、DeviceNet™、CC-Link®、PROFIBUS™和EtherCAT®。SEC-N100系列提供高精度（+/- 1.0% S.P. *1）和高速响应。该质量流量控制器还具有多气体/多量程功能，强调其在您的过程中的成本降低能力。 *1 ...

流量: 3 l/min - 150 l/min
压力: 1 bar - 3 bar

压力: 0 bar - 2 bar

... SEC-400系列质量流量控制器被广泛用于世界各地的各种行业和市场。它与热阀一起安装，提供可靠的控制能力。 高精度。+/- 0.5% F.S.:SEC-405(有限的气体兼容性) 流速控制范围广：从0.1CCM到200SLM（N2）。 可提供低成本的型号：性价比高的型号。SEC-400MK3/500MK3。 ...

流量: 0 l/min - 0 l/min
压力: 1 bar - 3 bar

... 压力不敏感的质量流量控制器 SEC-Z700X系列配备了可靠的热传感器和压力不敏感功能，可以实现稳定的流量控制。板载压力测量降低了气体输送系统的成本、尺寸和复杂性。 压力不敏感 一个新的高性能功能提供了一个简化的气体供应系统。典型的多室气体管路有一个管路调节器、压力传感器和过滤器，以避免压力波动引起的质量流量控制器的串扰现象。SEC-Z700X系列表现出高稳定性，在不影响上下游压力波动的情况下控制气体流量。提供流速输出、温度和压力读数。 特点 ...

流量: 0 us gal/min - 100 us gal/min
压力: 1 bar - 3 bar

... LF-F和LV-F系列是数字式液体质量流量控制器，使用珀尔帖元件冷却液体，而不是使用更常见的热加热方法。这种技术消除了低沸点化学品沸腾的风险，从而可以更好地控制化学品。 特点 提供微升至超低流速的控制 实现低沸点和高粘度液体的精确流量控制 超洁净。 测量技术 冷却测量法 这些液体质量流量控制器中的流量传感器，由一个与毛细管接触的电子冷却元件（Peltier元件）以及几个温度检测元件组成。当液体流动时，传感器检测到与流速相对应的温升（ΔT），并将其显示为流速。与添加热量的方法不同 ...

流量: 0 l/min - 2 l/min