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重复精度: 1 µm
载荷: 4 kg
... PIglide 微型 线性平台具有 线性电机驱动、预载空气轴承和集成式直线光栅。该平台占地面积小，但精度极高。非接触式组件的组合实现了无摩擦运动，具有出色的动态性能、纳米级定位精度和超长的使用寿命。 为建立 XYZ 系统，A-143 提供垂直安装选项，包括制动器和平衡器。 附件和选件 PIglide 过滤器和空气准备套件 单轴和多轴运动控制器 带制动器和气动平衡的型号，用于垂直安装 应用领域 该平台非常适合许多高精度和高动态应用，如计量、检测、光纤定位、光学定位、扫描和图案化。 线性平台采用非接触式设计 ...
Physik Instrumente
运行行程: 5, 25, 15 mm
速度: 1.5, 1 mm/s
重复精度: 0.25, 2 µm
... 适用真空度高达 10-6 hPa 采用折叠式驱动，结构非常紧凑 闭环直流电机 非接触式基准和限位开关 可直接安装 XY 装置 紧凑型 线性平台，用途广泛 折叠式带驱动直线运动平台，结构紧凑。透明孔径为 10 mm Ø，可直接安装 XY 装置，无需转接板。 减少排气，尤其适合在真空环境中使用 最值得注意的是，导轨和主轴的润滑采用了放气极少的材料。有了这种材料以及 PI V6 真空等级的其他改进，该定位器可在 10-6hPa 下使用。 驱动装置 闭环直流减速电机 间隙补偿螺纹主轴 位置测量 ...
Physik Instrumente
运行行程: 50 µm - 240 µm
重复精度: 5, 10 nm
... 压电推杆带来的出色使用寿命 - 清晰的孔径66毫米×66毫米 - 由于电容式传感器而具有最高的 线性度 - 计量学 - 干涉测量 - 光子学/集成光学 - 光刻技术 - 纳米定位 - 扫描显微镜 - 样品对准 - 微机械加工 电容式传感器的亚纳米级分辨率 电容式传感器以亚纳米的分辨率进行测量，无需接触。它们保证了出色的运动 线性度、长期稳定性和kHz范围内的带宽。 自动配置和快速组件交换 机械装置和控制器可以根据需要进行组合并快速交换。所有的伺服和 线性化参数都存储在机械装置的D-sub连接器的ID芯片中。数字控制器的自动校准功能在每次打开控制器时都使用这些数据 ...
Physik Instrumente
运行行程: 100, 400, 800 µm
重复精度: 50, 10 nm
... 使用电容式传感器直接测量位置最高 线性度 - 直径为 29 毫米的大光圈 应用领域 - 三维成像 - 筛选 - 干涉测量 - 测量技术 - 自动对焦系统 - 生物技术 - 半导体检测 PICMA® 压电致动器的超长使用寿命 PICMA® 压电执行器采用全陶瓷绝缘。这可防止潮湿和漏电流增加导致的故障。PICMA® 执行器的使用寿命是传统聚合物绝缘执行器的 10 倍。经证实，1,000 亿次循环无一故障。 电容式传感器的亚纳米分辨率 电容式传感器以亚纳米分辨率进行测量，无需接触。电容式传感器可确保出色的 线性运动、长期稳定性以及千赫兹范围内的带宽 ...
Physik Instrumente
运行行程: 100, 200 µm
... ,000 亿次循环无一故障。 零间隙挠性导轨实现高导向精度 挠性导轨免维护、无摩擦、无磨损、无需润滑。其刚度大，承载能力强，对冲击和振动不敏感。工作温度范围广。 自动配置和快速部件更换 机械装置和控制器可根据需要进行组合并快速交换。所有伺服和 线性化参数都存储在机械装置 D-sub 接口的 ID 芯片中。每次打开控制器时，数字控制器的自动校准功能都会使用这些数据。 丰富的软件可快速启动生产运行 由于支持 MATLAB 和 NI LabVIEW 以及所有常见的操作系统（Windows、Linux ...
Physik Instrumente
运行行程: 22 mm
速度: 0.2 m/s
重复精度: 0.2 µm
... 的高频交流电压激励下产生超声波振荡。致动器的变形导致耦合元件相对于转轮的周期性对角运动。每周期产生的进给量为几纳米；高频率导致高速度。压电陶瓷致动器对转轮的预紧确保了驱动装置在静止和关闭时的自锁。 利用增量式 线性编码器进行高精度位置测量 非接触式光学编码器可直接在平台上测量位置，精度极高。非 线性、机械间隙或弹性变形对测量没有影响。 ...
Physik Instrumente
运行行程: 26, 13 mm
速度: 8 mm/s
重复精度: 100, 200 nm
... - 宽度仅为 45 毫米 - 驱动力 7 N - 位置分辨率为纳米的增量式传感器 - 可进行 XY 组合，无需转接板 压电惯性驱动 压电惯性驱动装置是一种节省空间、经济实惠的压电驱动装置，具有相对较高的保持力和几乎无限的行程范围。惯性驱动原理基于单个压电致动器，该致动器由专用驱动电子装置提供的改良锯齿电压控制。致动器缓慢膨胀并移动转轮。由于其惯性，转轮无法跟随致动器随后的快速收缩而保持在原位。驱动装置的工作频率高达 20 kHz，直接作用于转轮，速度最高可达 8 mm/s。8 mm/s。 直接测量原理 直线运动平台配有非接触式直线光栅尺和基准开关。分辨率为 ...
Physik Instrumente
运行行程: 25 mm
速度: 0.02 m/s
重复精度: 0.15, 0.2, 1 µm
... - 集成 线性编码器，可实现最高精度，分辨率为 0.1 µm - 最小增量运动 0.2 µm - 循环滚珠丝杠提供高速度和长使用寿命 利用增量式 线性编码器进行高精度位置测量 非接触式直线光栅可直接在平台上测量位置，精度最高。非 线性、机械间隙或弹性变形对测量没有影响。 应用领域 光学对准。精密自动化 ...
Physik Instrumente
运行行程: 304, 102, 610, 407, 204 mm
速度: 300, 100 mm/s
重复精度: 5 µm
... 宽度：114 毫米，行程范围达 610 毫米 精密滚珠丝杠，最大承重 50 公斤 步进电机或伺服电机 采用折叠式传动系统，设计紧凑 垂直安装的机型配有固定制动器 功能强大的 线性平台，适用于要求苛刻的工业应用场合 精密滚珠丝杠、高性能步进电机或同步伺服电机、重型循环滚珠轴承和精密旋转编码器可在高负载条件下持续可靠地运行。可选的抱闸可用作 Z 轴。滚珠丝杠可从外部重新润滑，无需拆卸，确保了高可靠性和长使用寿命。 领先的设计 L-812 系列的循环滚珠轴承导轨具有高承载能力和高动态性能。电机的高分辨率提高了跟踪性能 ...
Physik Instrumente
运行行程: 102 mm - 813 mm
速度: 2 m/s
重复精度: 0.5 µm
... - 宽度 166 毫米 - 标称力 87 N - 增量式或绝对式 线性编码器 - 精密循环滚珠轴承，负载能力达 450 N - 侧面有覆盖条，防止颗粒进入 参考级直线定位器 通过 V-417，PI 为工业解决方案提供了带直线电机的高精度直线运动平台。其设计始终符合苛刻的工业条件，并以高刚性和使用高质量组件为特点：高性能无铁直线电机、重型循环滚珠轴承导轨和精密增量式直线光栅。编码器的高分辨率实现了出色的跟踪性能、较小的跟踪误差和较短的稳定时间。为了获得最大的灵活性，可以选择增量式编码器和绝对式编码器 ...
Physik Instrumente
运行行程: 12 mm - 321 mm
速度: 1.2, 0.02, 0.1 m/s
重复精度: 0.25, 0.4, 0.3 µm
... METIS 是最先进的混合平面机械/空气轴承平台，专为步进和扫描应用而设计，可确保无与伦比的精度、移动和稳定时间以及 4 自由度的速度稳定性。 METIS 平台是最先进的混合平面机械/空气轴承平台，专用于 X、Y、Z 和 Theta 方向四轴移动的步进和扫描应用。全行程范围内的动态平面度和双向重复性使其成为高精度任务的理想选择。METIS 广泛应用于晶圆过程控制，如关键尺寸和薄膜计量、晶圆划线和晶圆激光热退火。它还适用于后端光刻机（光罩校准器）和某些晶片切割应用。 METIS 性能可靠，是先进半导体和光电子应用的必备工具。 特点 METIS ...
运行行程: max 100.0 µm
... 特点： 三轴转换系统和双轴倾斜系统的组合 直径 17 mm 的自由中心孔 集成预载荷 转换每个轴：高达 100 µm 每个方向倾斜：± 2 mrad 固态弯曲铰链，采用平行边形设计，无需机械 玩 选项：集成测量系统 光学级通常需要一个开放的中央空间（例如用于通过光）。 对于这些应用，PENTOR 翻译和倾斜系统采用一个 17 mm 自由中心孔。 它提供 100 µm 的 x、y 和 z 方向的运动，并在两个正交轴 (j, q) 上倾斜 ± 2 mrad。 用于三个平移轴的柔性铰链保证在这个舞台的行驶范围内实现最高程度的并行性。 ...
piezosystem jena GmbH
运行行程: 150, 72 mm
速度: 150, 160 mm/s
... 概念。 由piezosystem jena提供的SCANIUStwo是为长行程的样品定位而设计的，同时保持了我们的高精度标准。通过这个新的双轴平台，piezosystem jena为您提供了一个更好、更优雅的解决方案来处理您的样品或物体。高分辨率和简易集成的结合使这个系统成为各种应用的理想选择。 ...
piezosystem jena GmbH
运行行程: 154 mm
速度: 0.02 m/s
H105-F是精密设计的ProScan®载物台之一，适用于大多数正置显微镜。它具有较大的行程范围，可以容纳半导体晶圆、光掩膜和印刷电路板等大型样品，使其成为材料科学应用的理想选择。可替换的样品架使得该滑块可用于各种应用。H105N2F具有高分辨率和出色的重复性，是高端材料科学应用的理想选择。
Prior Scientific
运行行程: 114, 75 mm
速度: 0.01 m/s - 0.1 m/s
H101A ProScan™载物台适用于几乎所有显微镜或光学系统。H101A载物台能够自动扫描试样并存储点位，以便以后进行重看和检视，具有无与伦比的可重复性，使用户的工作效率大幅提高。H101A是扫描或检视玻片、微量滴定槽、半导体晶片或冶金标本的理想选择，能够以格栅式、蛇形和随机形式等任何模式完成扫描。H101A ProScan™载物台还搭载了专利的智能扫描技术（IST）。通过结合大量的测试，智能扫描技术（IST）使每个载物台都拥有了预编程能力，并具有一系列独特的操作特性，以确保载物台的最佳性能。IST（也可用于H107和H117型号）使ProScan™III控制器能够进行任何必要的调整，以保持优异的正交和度量精度。
Prior Scientific
运行行程: 120, 72 mm
速度: 0.3 m/s
... 可提供最低摩擦和最平滑的驱动。 HLD117 提供： 超安静操作， 你能听到吗？ 我们也不能！ 即使在高速（高达 300 mm/sec）下，直线直流伺服电机几乎无声。 高精度 HLD117 具有令人印象深刻的 0.15 微米重复性和 50 纳米 线性刻度，是当今市场上最好的显微镜平台。 低调设计 低调平顶设计允许有足够的空间进行显微镜调整。 ...
Prior Scientific
运行行程: 108 mm
速度: 0.02 m/s
HT1111LC ProScan™实体框架载物台适用于正置显微镜和硬度测试仪。HT1111LC的行程范围为108 mm x108 mm，重复精度为0.7μm，载重能力可达100公斤，与Prior Scientific ProScan控制器联用时的分辨率为20纳米
Prior Scientific
运行行程: 65 mm
速度: 0.01 m/s
Prior的高精度电动ZDeck快速调节平台系统包括Prior Zdeck、电动ProScan XY载物台、ProScan III控制器、带双数字控制器的PS3J100操纵杆、通用支架、实心铝板、两个显微操作器安装座、聚光器垫片和四个10mm柱形垫片。Prior Scientific正在申请专利的ZDeck快速调整平台使用户可以快速而准确地对多个感兴趣区域进行成像，从而大大提高效率。
Prior Scientific
运行行程: 114, 75 mm
速度: 0.04, 0.02, 0.1, 0.05 m/s
H117载物台系列采用完全平坦的顶部设计以方便使用，并搭载了智能扫描技术（IST）。IST结合了大量的测试，可针对特定载物台进行具有一系列独特操作特性的预先编程，以确保其最佳性能。IST允许ProScan™III控制器进行任何必要的调整，以保持卓越的正交性和度量精度。
Prior Scientific
运行行程: 80 mm - 120 mm
速度: 40 mm/s - 100 mm/s
重复精度: 0.2 µm - 0.7 µm
... Prior Scientific推出了新款最具创新性的H101F电动平顶载物台，适用于正置显微镜。新型ProScan H101F的显著优势之一在于其完全平坦的顶板设计，可为物镜和换镜旋座的旋转提供无障碍空间。超低剖面样品架便于使用高数值孔径（NA）物镜/聚光器，而最新的小型高扭矩马达则便于进行聚光器和其他显微镜调整。较大的样品架区域设计能够适应各种应用，如大型组织切片以及其他定制的样品架。可选的嵌入式高分辨率XY编码器可提供最高的精度。 H101F采用更小尺寸的载物台电缆，从而简化了电缆的布线。通过添加简单的安装板，新型H101F即可与较旧型号的样品架兼容。H101F ...
Prior Scientific
运行行程: 71 mm - 240 mm
重复精度: 1 µm
载荷: 0 kg - 10 kg
... H138A载物台大大提高您的工作效率，最多可同时装载8个75mm x 25 mm显微镜载玻片。用于正置显微镜的H138A载物台搭载了智能扫描技术（IST）（H101，H107和H117型号也采用此技术）。IST结合了大量的测试，可针对特定载物台进行具有一系列独特操作特性的预先编程，以确保其最佳性能。同时，IST允许ProScan™III控制器进行任何必要的调整，以保持卓越的正交性和度量精度。 • 适用于大多数主流品牌显微镜。 • 1um甚至更高的重复精度 • 安静、可靠 • 240mm的 ...
Prior Scientific
运行行程: 302 mm
速度: 40 mm/s
重复精度: 0.7 µm
... 。H112可轻松容纳12英寸（300毫米）晶圆，并可与各种晶圆装载机械臂配合使用。另外，H112可用于250 mm x 250 mm透射区域的透射光应用。 • 适用于大多数主流品牌显微镜。 • 1μm甚至更高的重复精度 • 可选的100nm 线性标尺可提供最高的分辨率。 • 多种晶圆支架 • 302毫米x 302毫米（12″x12″）行程 ...
Prior Scientific
运行行程: 77 mm - 115 mm
速度: 8 mm/s
重复精度: 5 µm
... 用于倒置显微镜的ES107 OptiScan载物台具有最佳的性价比。ES107的设计旨在利用Prior的H107 ProScan系列样品架，以检测最广泛的样本类型，包括载玻片、多孔板、培养皿和抛光冶金样本。 • 适用于大多数主流品牌显微镜。 • 5μm甚至更佳的重复性 • 经济且强大 • 多种样品架。 ...
Prior Scientific
