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空间分辨率: 0.7, 1, 0.6 nm
... 具有亚纳米分辨率和高材料对比度的纳米材料的扫描电子显微镜表征。 Verios 5 XHR扫描电子显微镜 Verios 5 XHR扫描电子显微镜在整个1 keV到30 keV的能量范围内提供亚纳米级的分辨率，具有出色的材料对比度。前所未有的自动化水平和易用性使任何经验水平的用户都能获得这种性能。 扫描电子显微镜表征 - 使用UC+单色电子源进行高分辨率纳米材料成像，在1-30千伏范围内具有亚纳米级性能。 - 敏感材料上的高对比度，性能优异，降落能量低至20eV，高灵敏度的柱内和透镜下探测器和信号过滤，实现低剂量操作和最佳对比度选择。 - ...
... 压电聚焦纳米定位执行器属于 MIPOS 系列，专为微物镜和物镜的超薄调整或调整整个鼻片（MIPOS N100）而设计。 这些致动器的显著特点是其紧凑的占地面积和并行四边形设计，具有卓越的谐振频率。 它们可在光束内实现平行运动，并且易于安装在显微镜上，并且与各种显微镜和其他光学系统兼容。 这种高性价比解决方案，用于显微镜上的纤细调整。 将 MIPOS 系统与显微镜连接起来非常简单，只需通过拧紧方式将 Flex-Adapter 螺纹与显微镜连接，然后用夹紧螺钉将 MIPOS 放在这个环上。 专用型号允许用户在倒置位置工作，特别用于在倒置显微镜上定位。 ...
空间分辨率: 0.02 µm
... 产品概述
原子力显微镜（晶圆级AFM）是一款高分辨率扫描探针仪器，设计用于在晶圆尺度上表征导体、半导体和绝缘体的三维表面形貌及多功能物性，具有自动探针接近和高精度定位能力。
功能特点
- 先进的多功能测试：测量能力包括杨氏模量、粘附力、磁畴成像、表面电位、功函数等物理量。
- 适应性环境：兼容培养皿、加热台等配件；支持空气相和液相测量，并可在水下和高温环境下运行。
- 智能探针接近：采用压电扫描管实现一键智能针/探针插入。
- 样品尺寸适配：为12英寸晶圆搬运设计，向下兼容8、6、4英寸晶圆及碎片样品。
技术指标
- 噪声水平（XY）：0.2