扩散炉用加热组件

最高温度: 1,100, 1,150 °C

最高温度: 1,250, 1,200 °C

功率: 5 kW
最高温度: 1,800 °C

... Kanthal® Super NC 是一种具备特殊性能的加热元件，专门用于满足研究机构和电子行业中对清洁工艺加热的需求。 最高温度 1,800°C (3,270°F)。 超清洁和粘附表面釉面 更低的金属含量 具备分析报告 将所有加热元件都发生的表面剥落问题降低到最低。 金属含量也降低了，这就意味着从元件到炉内气氛的扩散更慢。 铁、镍、铜以及其他元素（按要求）的含量可以在分析报告中得到验证和确定。 电气性能与 Kanthal® Super 1800 相同。 应用 Kanthal® ...

功率: 1,050 W - 10,800 W
最高温度: 0 °C - 1,350 °C

... ヘビーゲージカセットは、より大きなゲージの抵抗線で構成され、円筒形に成形し、絶縁してケースに入れたものです。 これらのカセットはさまざまなゾーン数を持つことができ、さまざまな用途で安定した信頼性の高い加熱を提供するように設計されており、特定の内径精度でコイル状に巻かれています。 一般的な高質量ヒーターは次のもので構成されます。 ワイヤー分離および絶縁のための櫛形、インターロック、または標準セラミックスペーサー。 コイル支持および初期絶縁層用の成形断熱材または予備焼成真空成形断熱材。 ドライブランケットファイバーは、設計された断熱性とバランスのとれた圧縮性を実現。 セラミックリードロックにより強度と絶縁性が向上したKanthal®ストリップ素材のパワーリード。 リードのベンドバックは、熱損失を減らすように配置。 工具付き真空成形セラミック前室エンドインシュレーター。 さまざまな熱電対位置クランプ。 ...

功率: 0 kW - 500 kW
最高温度: 300 °C - 1,350 °C

... Fibrothal® 扩散盒有轻型和重型两种规格，可根据用途设计成水平或垂直方向。 水平炉和垂直炉的选择取决于各种因素，包括所采用的特定半导体制造工艺和制造设备的目标。选择可能受到晶圆尺寸、工艺要求和整体制造工作流程等因素的影响。 实际上，半导体制造中既使用水平炉，也使用垂直炉，选择取决于制造工艺的具体需求和限制。每种方向都有自己的应用，制造商可以在其生产设施中结合使用这两种类型的熔炉。 水平盒式炉 盒式炉通常用于 = 200 毫米晶圆。 设备在客户的制造单元内高度自动化。 垂直盒式炉通常有四到七个控制区。 ...

功率: 0 kW - 500 kW
最高温度: 1,150 °C

... 轻型线盒由轻型导线组成，这些导线被制成正弦曲线图案或弹簧式线圈。轻规格是指在盒式结构中使用直径较小的金属丝。这种结构对于精确控制和缩短扩散过程的响应时间至关重要。 应用 LPCVD 和低温应用：在需要精确控制低温时使用。如 LPCVD、多晶硅、氮化物和低温氧化物等应用。大气；H2 退火、聚酰亚胺固化。 快速温度响应应用：非常适合需要快速温度变化的工艺。 快速冷却应用：适用于需要快速冷却的应用。 典型的低质量加热器包括 半壳陶瓷模具，内嵌金属丝或弹簧线圈。 陶瓷模具背衬干毛毯纤维，具有设计的绝缘值和平衡的压缩。 工具真空成型陶瓷前庭末端绝缘体。 各种热电偶位置夹具。 内部总线元件上的陶瓷导线锁。外部总线元件上的电源块。 用精密机器将中型和轻型电线蜿蜒缠绕或弹簧冷卷。 25 ...

... 名称：扩散炉加热元件 说 明： 扩散炉加热器 萨克森堡扩散炉加热器由 SUS 不锈钢包覆和陶瓷纤维绝缘材料真空吸附成一体，用于生产高品质太阳能电池和半导体产品硅片。 它可以垂直或水平放置，工作温度可达 200~1350℃。 优点 开创性的 6 部分热场设计，实现了极佳的温度均匀性和节能效果。 耐热保温性能优越，能耗更低、寿命更长。 我们的选项 根据实际用途免费提供图纸设计。 根据您的预算提供不同的材料选择。 可选配节能元件或水冷壳体，帮助您最大限度地提高炉子性能。 如需了解更多详情，请点击访问我们的网站或直接与我们联系。 ...

最高温度: 540 °C - 1,150 °C

... 名称：Ml 电缆加热器/炉（圆形） 产品描述 Ml 电缆加热器由金属保护管、绝缘材料和加热丝组成、 它具有独特的结构和性能优势。 优点 ： 耐高温 加热速度快 温度控制精度高 保护性能强，使用寿命长 我们的选项 ： 根据您的实际用途提供免费图纸设计 根据您的预算提供不同的材料选择。 可根据需要定制内芯数量、保护套外形和绝缘材料的纯度。 更多详情，请点击访问我们的网站或直接联系我们。 ...