扩散炉用加热组件

硅胶陶瓷聚酰亚胺

轻型线盒由轻型导线组成，这些导线被制成正弦曲线图案或弹簧式线圈。轻规格是指在盒式结构中使用直径较小的金属丝。这种结构对于精确控制和缩短扩散过程的响应时间至关重要。 应用 LPCVD 和低温应用：在需要精确控制低温时使用。如 LPCVD、多晶硅、氮化物和低温氧化物等应用。大气；H2 退火、聚酰亚胺固化。 快速温度响应应用：非常适合需要快速温度变化的工艺。 快速冷却应用：适用于需要快速冷却的应用。 典型的低质量加热器包括 半壳陶瓷模具，内嵌金属丝或弹簧线圈。 陶瓷模具背衬干毛毯纤维，具有设计的绝缘值和平衡的压缩。 工具真空成型陶瓷前庭末端绝缘体。 各种热电偶位置夹具。 内部总线元件上的陶瓷导线锁。外部总线元件上的电源块。 用精密机器将中型和轻型电线蜿蜒缠绕或弹簧冷卷。 25 毫米和 50 毫米的典型蜿蜒弯曲模式。 SST 或铝制外部外壳。 低质量设计，温度低，热响应快。 白色或黑色表面涂层。