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... 可连接至标准晶圆探针台，实现整片晶圆的老化测试并具备高并行吞吐量。每个 DUT 嵌入加热器，以实现精确、低功耗的局部热控（无烤箱策略），从而降低能耗和占地并简化自动化集成。
主要优势
- 适用于功率技术：Si、SiC、GaN
- 兼容 6、8 和 12 英寸晶圆
- 支持整片晶圆老化和加速可靠性测试
- 高并行吞吐量，适用于成本效益高的生命周期测试
- 基于标准晶圆探针台技术，便于现有平台集成
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... 产品概述
PST6747Ai 系列为半导体测试系统，用于精确测量与分析功率半导体器件的静态参数。标配支持 3 kV（可选 10 kV）与 2200 A，支持快速脉冲操作与 fA 级电流检测，可用于 IGBT、
GaN、SiC 等现代器件的表征。
型号
- PST6747Ai：高精度，面向研发；测试报告包含详细的特性曲线与参数。
- PST6747Ai-F：高精度，适用于出厂交付前的产品测试；报告可用于用户手册。 <
... GaN FET 系统特点。 - 基于AccoTEST标准测试平台STS8200或STS8300的 GaN测试套件。 - 一套试剂盒最多可进行4个点的测试，最大支持2套试剂盒8个点并联测试。 - 全浮动VI源驱动，最高1000V/10A直流，最大2000V/20A。 - 包含低漏电测试模块，<1nA 漏电测试能力。 - 支持菜单驱动的编程 动态罗恩测试选项 ...