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... 产品概述
Gasboard-2060 是一款基于 NDIR 技术的 SiF4 气体传感器，专为硅基 CVD 沉积腔体的腔体清洗终点检测（EPD）实时监测而设计。该传感器采用专用气室和光学系统，可对腔体清洗过程中的 SiF4 浓度进行选择性测量，并支持通过模拟和数字接口集成至工艺控制系统。Gasboard-2060 提供快速响应的数据输出，便于清洗终点判定与过程控制。
特点
- 针对 SiF4 的 NDIR 检测优化。
- 快速响应（T90＜2s），用于精确判断清洗终点。
- 低零点漂移、高重复性，测量结果稳定。
- 模块化紧凑设计，便于安装与维护。
- 模拟（1–10VDC）与数字（RS232）输出；采样口：KF16。
规格
测量气体：SiF4
检测原理：NDIR（非分散红外）
量程：（0.0–0.2）Absorbance
响应时间：T90＜2s
数据上报速率：0.5s
模拟输出：1–10VDC
电源输入：15VDC（≤300mA）或24VDC
数字通信：RS232
采样口：KF16
外形尺寸：200 ...
... 概述
Gasboard-2060 是一款高性能 SiF4 气体传感器，专为硅基 CVD 沉积腔室的实时腔室清洗终点检测（EPD）设计。基于非分散红外（NDIR）技术并配备专门设计的气室，可在半导体腔室清洗过程中对 SiF4 浓度进行高选择性和高精度检测。Gasboard-2060 实时监测 SiF4 浓度，能够快速且精确地指示清洗终点，从而减少清洗时间和气体消耗，同时降低腔室磨损并延长部件使用寿命。模块化设计便于安装，并支持校准和调节功能，便于集成与维护。
特性
- NDIR
测量范围(%): 0 % - 100 %
... 产品概述
- 环境检测
- 气体泄漏检测
- 在线工艺与环境监测
- 响应快速，测量精准
- 抗中毒能力强
- 可在无氧条件下工作
- 预计寿命 >5 年
- 体积小、重量轻，便于集成
型号
MST-N7M C6H15N
数据表（基本规格）
检测气体：C6H15N
工作原理：非分散红外（NDIR）
量程：0-100%LEL
精度：±3%FS
分辨率：0.01%LEL
响应时间（T90）： ...
... 概述
- 用于工业应用的环境与气体泄漏检测
- 在线监测，响应迅速，测量精确
- 采用NDIR检测原理——抗中毒，不需氧气参与测量
- 体积小，预期使用寿命长（>5 年）
型号
- MST-N7M
数据表
- 目标气体：C3H2F6（六氟丙烷）
- 测量原理：非分散红外（NDIR）
- 测量范围：0–2000
... 概述
MST-N7M 是一款用于检测 CS2（二硫化碳）的非分散红外（NDIR）气体传感器。适用于工业和环境检测，支持在线连续监测与快速泄漏检测，运行稳定、寿命长且体积小巧。
主要特性
- 环境监测
- 气体泄漏检测
- 在线连续监测
- 响应快速且测量精确
- 抗中毒能力强
- 无需氧气即可工作
- 使用寿命长（>5 年）
- 体积小巧
型号
MST-N7M ...