测量探头

氧气用于电子元件测量

基本信息
ZIROX 真空氧探头以氧化锆（ZrO2）固体电解质电池（电位式）作为传感元件。测量电极与参比电极之间产生的电压与氧分压比的对数成正比，可根据 Nernst 方程换算为氧分压。接线头集成了加热器控制、信号处理电子器件以及用于参比气体供应的膜泵。

适用场景
用于低压设备中氧分压的测定。典型应用包括真空工艺（PVD、磁控溅射等）、其他等离子体或表面处理工艺，以及材料科学研究。

校准说明
与常压使用的 ZIROX 探头不同，真空探头并非免校准，原因在于探头内置加热器的位置及测量电极处随压力变化的热条件（无法保证等温电极）。过程控制中经验性校准通常足够；需精确测量时，用户应进行试验校准。

技术参数 — 真空探头

• 插入长度：140...300 mm
• 探头直径：6 mm（带保护套时 16 mm）
• 重量：1.5 kg
• 接线头尺寸：150 x 63 x 35 mm
• 防护等级：IP54
• 法兰：KF40（可按需提供其他法兰）
• 法兰处最高温度：60 °C
• 电源：24 V DC ± 10 %
• 电流消耗：1.2 A
• 加热功率：30 W
• 压力范围：1.5 x 10^5 ... 1 x 10^-5 Pa
• 传感器电压范围：0...400 mV 或 0...1200 mV（电路板切换）
• 氧分压范围：1 x 10^5 ... 1 x 10^-21 Pa
• 输出信号：0–20 mA
• 精度：相对误差 < 5 %（工艺使用）
• 传感器工作温度：700 °C（电子控制）
• 偏置（带保护套）：-15...-20 mV
• 氦泄漏率：< 10^-8 mbar·L/s
• 最大气体流速：10 m/s
• 参比气体：环境空气
• 参比气体流量（内置泵）：约 5...10 L/h

插头引脚分配
连接器类型：Type 423，6 针，Binder（订货号：99-5622-15-06）

• 1：+24 V
• 2：GND
• 3：+ Iout（20 mA 对应设置的 400 或 1200 mV）
• 4：- Iout
• 5：Ready 接点（无源）— 60 V/1 A DC 或 125 V/1 A AC
• 6：（无分配）