旋转位移台 XRT-A

压电高精度亚微米精度

XRT-A 由粘滑压电马达驱动。 凭借我们在 XRT-A 中获得专利的轴承技术，即使在旋转过程中，也可以主动补偿径向误差运动到纳米水平。 这使得 XRT-A 独特且是市场上最精确的压电旋转级。 XRT-A 的径向误差运动小于 500 nm，在不需要加压空气和大容量的条件下实现了空气轴承的精度，并且价格优越。 因此，XRT-A 是需要预旋转的真空和磁性应用的理想解决方案。