离子溅射源 Mark II+

Mark II+ 无栅离子源 增大了射束输出并改进了维护功能 大幅度增大的射束电流和可拆卸阳极装置为 Mark II+ End-Hall 离子源增加了新价值，进一步改进了 Veeco 公司为光学镀膜系统提供的业界领先的无栅型离子源产品系列。 可为更高速的制程和更大型的加工室提供高达 70% 的更大射束电流 可拆卸阳极装置使维护工作变得更快捷并且可减少停机时间 整合式馈入装置和布线易于安装且可靠性高 适合于反应气体、惰性气体及高束流密度 更为小巧的规格使用与 Mark II 源相同的安装板以便更快速的进行升级 灵活的整合使节省空间的系统设计和广泛的射束角度成为可能