离子束雕刻机 NEXUS® IBE-350Se™
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产品规格型号
- 工艺
- 离子束
产品介绍
NEXUS IBE-350Se 离子束蚀刻系统
更高的 ABS 深腔加工产能。
利用 Veeco 的 NEXUS® IBE-350Se™ 离子束刻蚀系统最大程度地提高 ABS 深腔加工和高刻蚀率应用的生产率。主要特征包括拥有成本较低、产能高、体积小、系统利用率提高以及能够在 NEXUS 平台上进行集成。
高功率操作，并改进了基质冷却技术
产能高且体积减小，使拥有成本降至最低
能够在普通 NEXUS 平台上进行集成
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