激光打标机 FLMS series
Nd-YAG激光紫外线激光用于硅

激光打标机 - FLMS series - Tianhong Laser - Nd-YAG激光 / 紫外线激光 / 用于硅
激光打标机 - FLMS series - Tianhong Laser - Nd-YAG激光 / 紫外线激光 / 用于硅
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产品规格型号

工艺
激光, 紫外线激光, Nd-YAG激光
材料
用于硅
配置
落地式
应用
微电子行业, 晶圆
其他特性
自动, 高精度, 视觉系统, 识别, 机械手
功率

最多: 0.03 kW
(0.04 hp)

最少: 0 kW
(0 hp)

产品介绍

产品名称特点
  • 专为半导体晶片上的图形和徽标蚀刻而设计。
  • 采用精确定位和识别(CCD 轮廓定位)系统自动识别工件。
  • 使用多轴机器人或处理模块支持自动拾放,实现全自动加工。
  • 广泛应用于晶片图形和徽标蚀刻工艺。 样品展示
  • 晶圆打标样品
  • 晶圆开槽样品
  • 规格(表格)注意事项特征/技术参数
  • 产品:全自动晶片激光打标机
  • 可用设备型号:TH-JYA-FLMS20、TH-JYB-FLMS20、TH-JYB-FLMS3、TH-JYB-FLMS5
  • 激光类型:红外线 (IR) 和紫外线
  • 激光波长:1064 nm(IR),355 nm(UV)
  • 激光功率选项:3W、5W、20W、30W
  • 标准定位精度:±0.1 毫米
  • 回收器/处理:六轴机械手(IR 型号)或多轴伺服模块(UV 型号)
  • 目标/定位系统:CCD 轮廓定位(CCD)
  • 机器尺寸(约):IR 型 1200 x 1600 x 2000 毫米;UV 型 1280 x 850 x 1700 毫米
  • 激光使用寿命:IR 型 ~100,000 小时;UV 型 ~15,000 小时
  • 典型应用:半导体晶片上的图形和徽标蚀刻/标记;自动拾放和全自动加工
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