产品名称特点
专为半导体晶片上的图形和徽标蚀刻而设计。采用精确定位和识别(CCD 轮廓定位)系统自动识别工件。使用多轴机器人或处理模块支持自动拾放,实现全自动加工。广泛应用于晶片图形和徽标蚀刻工艺。
样品展示晶圆打标样品晶圆开槽样品。
规格(表格)注意事项特征/技术参数产品:全自动晶片激光打标机可用设备型号:TH-JYA-FLMS20、TH-JYB-FLMS20、TH-JYB-FLMS3、TH-JYB-FLMS5激光类型:红外线 (IR) 和紫外线激光波长:1064 nm(IR),355 nm(UV)激光功率选项:3W、5W、20W、30W标准定位精度:±0.1 毫米回收器/处理:六轴机械手(IR 型号)或多轴伺服模块(UV 型号)目标/定位系统:CCD 轮廓定位(CCD)机器尺寸(约):IR 型 1200 x 1600 x 2000 毫米;UV 型 1280 x 850 x 1700 毫米激光使用寿命:IR 型 ~100,000 小时;UV 型 ~15,000 小时典型应用:半导体晶片上的图形和徽标蚀刻/标记;自动拾放和全自动加工。---