透射电子显微镜 Spectra Ultra

质量控制用于材料研究用于半导体

扫描透射电子显微镜，用于对光束敏感的材料进行成像和光谱分析。 光谱超扫描透射电子显微镜 要真正优化 TEM 和 STEM 成像、EDX 和 EELS，可能需要在不同的加速电压下采集不同的信号。规则可能因样品而异，但一般认为1) 最佳成像是在尽可能高的加速电压下完成的，超过该电压就会出现可见的损坏；2) EDX，尤其是在绘制地图时，低电压可提高电离截面，从而在给定的总剂量下获得更好的信噪比图；3) EELS 在高电压下工作效果最佳，可避免多重散射，因为多重散射会随着样品厚度的增加而降低 EELS 信号。 遗憾的是，在同一样品上以不同的加速电压进行采集而不丢失感兴趣的区域--全部在一次显微镜检查过程中完成--是不可能的。至少在此之前是这样。 想象一下 Thermo Scientific Spectra 300 S/TEM： - 在一次显微镜观察过程中，可以真正在不同的电压下工作（所有电压都在 30 至 300 千伏之间，我们购买的是对准电压）。 - 从一个加速电压转换到任何其他电压只需 5 分钟左右 - 可适应截然不同的 EDX 概念，固角为 4.45 srad（分析型双倾斜支架的固角为 4.04 srad） 有了新型 Spectra Ultra S/TEM，加速电压就像探针电流一样成为一个可调参数，大型 Ultra-X EDX 系统可以对传统 EDX 分析中对光束过于敏感的材料进行化学表征。