高真空微定位系统 MP53-3-PM-10-PM-L

3轴XYZ轴压电

MP53-3-PM - 真空紧凑型多轴系统 高分辨率微定位仪 - HV / UHV / EUV，10毫米行程，0.2微米重复性，0.5公斤负载 - 真空：所有范围HV / UHV / EUV - 润滑液体可达10E-8/干燥可达10E-11 mbar - 最大。烘烤温度。120°C 可选择配置。 - 可提供磁性、低磁性和无磁性版本 - 可选择配备高分辨率测量系统，重复精度可达0.005微米 - 可与旋转平台组合，用于旋转应用 - 可根据试验室的安装情况进行单独配置 - 适用于洁净室ISO 14644-1的型号（根据要求可达到1级）。 - 可与控制器FMC400/450一起使用 用于高要求应用的小型化XYZ机械手 MP53机械手是一个小型化的三轴系统，在非常有限的安装空间内进行X、Y和Z运动。可实现10毫米的行程范围。该机械手配备了压电马达，因此可以在高真空和超高真空的高精度应用中实现几纳米的定位增量。 应用范围 在最小的安装空间上进行精密定位，用于实验室应用、显微镜和半导体技术、超高真空和极端紫外线辐射下的研究、样品制备、样品扫描、样品处理、相机调节、传感器调节、材料研究、材料分析、光束线、加速器、同步辐射、小型化