平坦、精确和快速
KT500不仅以其非常平整和紧凑的设计给人留下深刻印象。由于有350毫米的行程,即使是大的基材和部件也可以在整个表面上进行扫描。它的设计使所有的工艺参数都能准确地重复,并达到与空气轴承系统相当的性能。由于有一个可以通过插头连接断开的电缆接口,简单的安装和免维护的操作可以达到50万个全行程。
高动态的XY系统,使用寿命长
- 高精度的重复性可达 0.3 µm
- 最大速度达300毫米/秒,加速度达1G,节省了启停操作的时间
- 免维护操作达500,000次全行程,之后只需简单的重新润滑即可
- 寿命可达两百万次全冲程
- 每个方向最多可以有两个电动线性马达:2+2马达用于特别快的扫描结果,2+1马达用于相同的动态。
应用范围
快速扫描应用和动态卷材行走,例如:半导体检测、测量系统、自动光学检测(AOI)、测量设备、差分测量、空气轴承系统的替代品
---