高精度位移台 DT65

旋转机动适用真空

- 真空：所有范围的HV，最高可达10-8毫巴 - 润滑液高达10-8 mbar - 最大。烘烤温度。100°C 可选择配置。 - 可提供磁性和低磁性的变体 - 材料选择和真空润滑适合于应用 - 可根据炉膛内的安装情况进行个别调整 - 适用于洁净室ISO 14644-1的版本（可按要求达到1级）。 - 可选配控制器FMC400/450 小型、高动态的旋转台 产品组合中最小的真空旋转台以其高动态和速度给人留下深刻印象。在真空和低磁设计中，DT65完全适用于苛刻环境中的应用。因此，它特别适用于研究和开发以及实验物理学领域。它可以被组合成高要求的多轴系统，并可以通过我们的FMC 400/450控制器轻松控制。 应用的领域 研究和开发，多轴系统的设置，光束线仪器，同步辐射，材料研究，材料分析，晶圆检测，半导体质量控制，半导体研究