在线溅镀机 G600MN

G600MN 在线溅射系统是一种高产出系统，用于为装饰、耐磨增强、电磁屏蔽等各种三维物品镀膜。 该在线系统可连续运行 120 小时（三维镀膜载体的输出率为 15 秒）。 工程与技术 在线系统设计为模块化单端结构，以单通道模式连续运行。 它由多个腔室组成：载体装载/卸载腔室、锁定腔室、辉光放电腔室、磁控溅射腔室和载体旋转腔室。 带有支架的定制载体用于基片在在线系统内的线性运动。载体位置由所有腔室的光学传感器记录。 双室和双向自主辊道确保了载体的直接和逆向流动。 转向室用于将载体从直流路径传送到回流路径。 辉光放电装置用作预处理源。 涂层沉积由直流平面溅射磁控管提供。 可调节的斜磁控管位置和工艺室中的基片旋转确保了涂层的均匀性。 泵站由涡轮分子泵组成。 控制系统可对载体运输和整个工艺流程进行全自动监控。 在线系统与塑料成型和基片上光的流水线兼容。 数据表 基材：塑料、金属、合金、玻璃 3D 部件 最大基材尺寸（直径 x 高）：145 x 210 毫米 涂层：金属、合金 产量每分钟 4 个载体 连续运行120 h