质量流量传感器 FS8000 series

体积气体用于加工过程监督

传感器的响应速度最快可达 1 毫秒，最适合自动化、机器人控制或其他仪器仪表应用。 该系列质量流量传感器利用公司专有的 MEMS 传感和控制电子技术，设计用于气体质量流量测量的快速响应时间。半导体设备和自动化是两个目标应用领域。 专为控制自动化而设计 响应时间快至 1 毫秒 具有快速流量开关功能 模拟和数字接口 超过 100:1 的大关断比 占地面积小 应用 *设备自动化 *机器人操作 *泄漏检测 *仪表 *使用干燥气体的过程监控器 *流量开关 流量范围 - 0 - 100...500 0 - 2000...6000 - 似乎 精度 - ±(2.0+0.5FS) - % 关断比 - > 100:1 功耗 - £ 50.0 - mW 响应时间 - 典型值为 5 毫秒；最多可定制 1 毫秒 最大额定压力 - 0.5 - 兆帕 最大压力损失 - 900（典型值） - Pa 温度 - -10-55 - °C 电源 - 8 - 24 - 伏直流 零点偏移 - ± 30.0 - mV 温度系数 ±0.12 %/°C 输出 - 线性，l2C；模拟 0.5 - 4.5 Vdc 机械连接 - M5 / Rc 1/8 入口和 M5 出口 重量 - 12 / 21 克