质量流量传感器 FS4001

气体

该传感器是为GC等仪器设计的。它也可用于1000以下的一般用途的流量测量。 这个系列的质量流量传感器主要是为气体低质量流量测量而设计的，采用公司专有的MEMS传感技术。有条件的层流和电子装置确保了高精确度和可靠性。 特点 专为低质量气体流量测量而设计 响应时间快，可定制到1毫秒 全动态范围内的层流 模拟和数字接口 超过100:1的大转折率 可选择分离式设计 应用 *实验室流量测量 *气相色谱仪质谱仪 *渗漏检测 *仪器设备 *干燥气体的过程监控 *自动化 流量范围 0-30...1000 看来 准确度 - ±(1.5+0.5FS) - % 回转率 -> 100:1 - 功率消耗 - <50.0 - mW 响应时间 - 65（默认、4、8、16、33、131可选） - 毫秒 最大压力等级 - 0.5 - MPa 最大压力损失 - 30（典型） - Pa