质量流量传感器 FS5001 series

体积气体模拟输出

该传感器专为仪表和/或歧管组件而设计。它有两种型号：低流量至 1000sccm 高流量至 4SLPM。 该系列质量流量传感器采用多歧管安装配置，利用公司专有的 MEMS 传感技术进行气体质量流量测量。仪表和自动化是其两个目标应用领域。 专为多歧管安装而设计 响应时间快，可定制为 10 毫秒 层流全动态范围 模拟和数字接口 大关断比超过 100:1 高/低流量应用 应用 *实验室流量测量 *气相色谱质谱仪 *泄漏检测 *仪器 *使用干燥气体的过程监控器 *自动化 流量范围 - 0-200...1000 - 0 ~ 2000...6000 - 似乎 精度 - ±(2.0+0.5FS) - % 关断比 - > 100:1 功耗 - <50.0 - mW 响应时间 - 10（默认，5、10、20、50、100、500、1000 可选） - 毫秒 最大压力损失 900（典型值）帕 Temperature_-10-55_°C 电源 - 8-24 伏直流 零点偏移 - ± 30.0 - mV 温度系数 - ±0.12 - %/°C 输出 - 线性，l2C；模拟 0.5 - 4.5 Vdc 机械连接 - 歧管就绪 重量 - 15