太阳能镀膜机 LP-42 series

TOPCon电池隧穿氧化层、i-poly、D-poly低压化学气相沉积。 • 低压与热壁工艺特性，成膜均匀性、致密性好。 • LPCVD工艺特性，基片密排对成膜速率影响小，单管装片量大。 • 更多温区设置，可靠保证片间均匀性。 • 独立调节分段进气，弥补气流耗尽效应。