PECVD镀膜机 PECVD

薄硅涂层

· 隧穿氧化层、i-poly、D-poly 三合一同管完成，减少工艺环节，有效提升良率、降低碎片率。 · 无热壁特性，石英管使用寿命长。 · 绕镀轻微，易去除。 · 精准掺杂、可引入其它提效掺杂元素，工艺拓展、提效空间大。 · 防导通专利技术。