PECVD镀膜机 PECVD

· 可靠电极接触，有效减少粉尘、降低高频报警频次。 · 简单可靠自动上下舟机构，提升设备维护空间与便利。 · 运动部件单面安装维护，减少设备背靠背布局占地面积的同时不影响设备维护难度。 · 高速平稳整体模组推舟机构。 · 辅助加热专利技术。 · 快速镀膜工艺技术。 · 自主知识产权MES软件、中央计算机集中控制系统。