PVD镀膜机 RT-R2R-SP

磁控溅射离子束辅助疏水薄涂层

我们很高兴为您推荐 MultiWeb 系列卷对卷真空溅射卷材镀膜机，以满足您的多层沉积要求。 低辐射薄膜卷绕镀膜机 应用：电子纸、柔性电路、光伏、医疗带、RFID（射频识别）和低辐射薄膜。 沉积薄膜 1.基底材料PET、PEN、PES、PI、PC、PA...薄膜 2.基底厚度：15~300μm 3.沉积方法交流反应法用于二氧化硅（介质）；脉冲直流法用于 ITO（金属和导体） 4.氧化物导体 TCO：ITO、AZO、IZO... 5.金属导体铝、铜、钼、银 6.光学薄膜Ta2O5、Nb2O5、SiO2、TiO2... 7.半导体氧化锌、InGaZnO... 8.绝缘体SiO2, SiNx, AlOx, AlNx... 9.均匀性： ±5% 跨网 多网镀膜机具有以下主要特点： A.一个腔室分为多个压力区，以适应各种沉积源。 B.多源同时沉积功能，可在一个卷筒纸通道上进行多层涂层。 C.卷筒纸卷绕方向可逆，可在不破坏真空的情况下进行无限层沉积。 D.带边缘导向装置的精密卷筒纸处理机制，允许多次通过而不失准。可选 E.交流反向卷筒纸驱动系统，可精确控制多种卷筒纸速度。 F.在线光学和/或电阻厚度监测系统，可精确控制沉积厚度和均匀性。可选