X光光电子光谱仪

实验室研发MCP

最终成像 XPS 分辨率：500 nm /100 nm（实验室/同步）采用 PEEM 技术简单的样品导航 小点光谱像 差校正能量滤波器 高功率单色 X 射线源 ARUPS 与 FOC US GmbH 合作创建NanoESCA 提供了无与伦比的 XPS 横向分辨率（在实验室条件下实现小于 500 nm）的化学状态映射。 该仪器可以分析最小的样品结构，提供超出其他高横向分辨率技术（如扫描螺旋和 TOF SIMS）的极限范围的化学状态信息。 采用 在二次电子状态下工作的 PEEM 技术确保了实时样品导航。 PEEM 模式允许在较大的样品区域轻松查找小特征，并提供高分辨率（< 50 nm 分辨率）。 此外，PEEM 模式还提供了关于本地工作功能和本地样品充电的定量信息。 ARUPS 选项可以完成 NanoESCA 的光谱能力，该选项允许从 m 区域分析 k 空间，例如多晶表面的小颗粒，具有极大的角度接受能力。 因其革命性的设计而获得了 2007 年 R&D 100 奖。