扩散炉 DOA-420

橱柜式高温自动

管式硼扩散炉 主要用于晶体硅太阳能电池制造中硅片的掺杂形成PN结。 石英舟及硅片准备→插片→上料→选择工艺运行→进舟→抽真空→升温稳定→通氧→通源→推进→恒温→出舟→下舟冷却→测试→卸片 1、高温硼扩散功能。 2、BBr3、BCL3。 3、配套相关专利技术。 4、独特双嵌套炉门结构。 5、专利技术尾气处理系统。 6、高速平稳整体模组推舟机构。 7、智能化全自动控制。 8、自主知识产权MES软件。 9、全面的防超温、断偶、撞舟等安全报警保护功能。 10、匹配S.C智能化生产管理系统。