升华作用炉 baSiC-T

晶体生长钟形燃气

PVA Te... 物理气相传输（pvt）系统 baSiC-T 是专为碳化硅（SiC）晶体生长而设计的，采用源粉末在高温下升华的方式。baSiC-T 系统的设计基于模块化概念，允许使用直径达 6´´ 的基底（种子）。 新一代 SiC PVT 晶体生长炉 专为电力电子应用而设计 大规模生产的高自动化水平 提供工厂管理软件解决方案 占地面积小，布局紧凑 可用于 4´ 和 6´ 英寸 使用经过现场验证的线圈设计进行感应加热 功耗低（约 10KW @ 2,200 °C 稳定控制） 热区移动装载/卸载概念 卓越的控制系统 高度自动化的直观操作 具有增强趋势功能的过程可视化 离线配方设置解决方案，通过参数集提供大量配方选项 长期过程数据记录和长期数据检索 控制系统和可视化系统独立运行（安全概念） 可通过参数组配置的系统控制回路 卓越的安全理念 符合 CE 标准 不同级别的系统安全组件确保操作安全 质量测量和扩展质量文档 与客户、机构和部件供应商密切合作