溅射涂覆机 Pi411 PLUS

高性能多层

Pi411 超灵活单元 Pi411 PLUS 具有模块化设计和多种可用技术，是世界上最灵活的涂布机。 配置 ECO：基本配置，门内有 3 x LARC®（LAteral 旋转阴极），用于 ARC 沉积 PECVD (DLC2)：用于 a-C:H:Si 涂层 TURBO: ECO + CERC® （中央旋转阴极），采用 ARC 技术，可提高生产率，并可生产高度复杂的涂层 OXI：用于刚玉结构的氧化物涂层 SCIL® （侧向辉光放电诱导溅射涂层）：来自中央阴极的高性能 SPUTTERING，例如用于 ta-C 涂层 混合 LACS®：同时进行 ARC 和 SPUTTER 工艺，LARC® 位于炉门内，中央为 SCIL® 阴极 应用蚀刻技术： LGD®（侧面辉光放电） 氩气等离子蚀刻、辉光放电 金属离子蚀刻（钛、铬） 载荷和循环时间： 最大涂层体积： ø 540 x H 500 [mm] （毫米 规定涂层厚度的最大涂层高度414 毫米 最大负载200 千克 每天最多 5 批*： 刀柄刀具（2 μm）： - - ø 10 x 70 [毫米]，- 504 件，- 4.5 小时 刀片（3 μm）： - - ø/□ 20/14 x 6 [mm], - 2940 件, 5.5 小时 滚刀（4 μm）： - - ø 80 x 180 [mm], - 28 件, - 7.0 小时 * 生产环境中典型涂层组合的平均周期时间。 模块化转盘系统：1 至 14 轴 软件： 使用和维护简单 普拉蒂特智能软件（PC 和 PLC 系统） 带触摸屏的现代化控制系统 记录数据并实时显示工艺参数和流量 手动和自动过程控制 远程诊断和维护 机器尺寸 占地面积宽 2950 x 深 1900 x 高 2400 [毫米］