溅射涂覆机 S-MPuls
高性能多层

溅射涂覆机
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产品规格型号

技术参数
溅射, 高性能, 多层

产品介绍

硬币打孔机 S-MPuls 针对硬币冲头,普拉蒂特开发了一种定制涂层解决方案,可提供具有良好非晶结构、高密度、表面质量和复制精度的高质量涂层。 应用的技术 1 x 直流脉冲磁控管 SPUTTER 阴极,带旋转磁场 SPUTTER 源位于腔室底部 应用蚀刻技术: LGD® 使用氩气的等离子蚀刻,辉光放电,带辅助阳极 负载和周期时间: 每天 4 -6 个批次,批次时间为 3.5 小时 规定涂层厚度的涂层量: ø 70 - 250 [mm] 基片支架:ø 300 毫米,可根据客户要求提供不同型号 最大载重 20 公斤 软件: 使用和维护简单 ...TIT 的智能软件(PC 和 PLC 系统) 带触摸屏的现代化控制系统 记录数据并实时显示工艺参数和流量 手动和自动过程控制 远程诊断和维护 机器尺寸 开门尺寸长 450 x 宽 615 [mm] 占地面积(带电气柜的涂布机): 宽 945 x 深 1403 x 高 2068 + 宽 608 x 深 1369 x 高 2068 [毫米]

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