连续涂覆机 Pi111 PLUS G3

高性能多层

Pi111 智能调速装置 Pi111 PLUS G3 是 ...TIT 推出的第三代紧凑型 PVD 涂层设备。它的主要特点是周期短、使用方便、价格优惠。该设备拥有 2 个旋转阴极，可沉积出高质量的 ...TIT 招牌涂层。它是希望进入涂层领域的客户的理想选择。 应用技术 2 x LARC® PLUS（LAteral Rotating PLUS 阴极），用于 ARC 沉积 与 LARC® 相比，LARC® PLUS 的优势在于 提高靶材利用率（高达 30） 增强磁场系统，从而提高沉积率 快速更换阴极 采用蚀刻技术： LGD® （侧面辉光放电） 氩等离子蚀刻、辉光放电 金属离子蚀刻（钛、铬） 负载和循环时间： 最大涂层体积：ø 353 x H 498 [mm] （毫米 规定涂层厚度的最大涂层高度414 毫米 最大负载160 千克 每天 4 - 5 批*： 刀柄刀具（2 μm）：ø 10 x 70 [毫米]，288 件，- 4.5 小时 刀片 (3 μm)： ø/□ 20/14 x 6 [毫米]，1680 件，- 5.5 小时 滚刀（4 μm）： ø 80 x 180 [毫米]，8 件，- 7.0 小时 滚刀 (4 μm)： ø 75 x 180 [毫米]，20 件，- 7.0 小时 * 生产环境中典型涂层组合的平均周期时间。 模块化旋转台系统：双旋转踢脚转盘或三旋转齿轮箱系统 软件： 使用和维护简单 普拉蒂智能软件（PC 和 PLC 系统） 带触摸屏的现代化控制系统 记录数据并实时显示工艺参数和流量 手动和自动过程控制 远程诊断和维护 机器尺寸 占地面积宽 2000 x 深 1550 x 高 2250 [毫米］