涂布复合系统 Q 240

这是我们Q系列中最大的系统。非常适合直径达200毫米的多个晶圆。 尺寸。 - 长：760毫米 宽：775毫米 高：775毫米 重量: - 100 KG 体积: - 20升 工艺室：- 石英玻璃，240毫米直径，B：450毫米 微波输出。 - 2,45 GHz / 50 - 1200 Watt 包括： - 1个气体通道（加工室内部的气体分配系统），最多可以有3个通道 基片支架（可选）。 - 铝制，可定制设计 真空连接：- DN40 ISO-KF 排气：- 电磁阀 泵系统：- 高达40m³/h 室门。 - 你可以选择带观察口的铰链式和带支撑杆的抽屉式门。 晶片尺寸：- 高达200毫米，数量为50个晶圆