涂布复合系统 AL 235

带有自动门和可调节的工作高度，更容易装载。 尺寸。 - 长：1200mm 宽：2700mm 高：1850mm 重量：- 380 KG 容积：- 235升 工艺室：- L: 650 W: 650 H: 550 微波输出。 - 2,45 GHz / 1200和1450瓦特 包括： - 1个气体通道（加工室内部的气体分配系统），最多可以有3个通道 基片支架（可选）。 - 铝制，可定制设计 真空连接：- DN100 ISO-K 排气：- 电磁阀 泵系统: - 50 -600 m³/h，取决于工艺 室门。 - 自动门