涂布复合系统 AL 18

尺寸。 - 长：530mm 宽：600mm 高：550mm 重量: - 80 KG 体积: - 18升 工艺室：- 铝，长：250毫米，宽：290毫米，高：250毫米 微波输出。 - 2,45 GHz / 50 - 1200 Watt 包括： - 1个气体通道（加工室内部的气体分配系统），最多可以有3个通道 基片支架（可选）。 - 铝制，可定制设计 真空连接：- DN25 ISO-KF 排气：- 电磁阀 泵系统: - 15-35 m³/h 室门。 - 铰链式，带观察口