线性位移传感器 capaNCDT 6500

非接触式电容EtherCAT

电容式位移传感器是为需要极高精度的测量任务而设计的。capaNCDT 6500电容式多通道系统非常适用于可靠的测量，分辨率可达亚纳米。该控制器提供7.8kHz的最大响应速率（数字，最多4个通道）或8.5kHz的频率响应。除了模拟输出外，还提供EtherCAT(R)接口。EtherCAT可以实现精确的实时数据传输，高速集成到现有的测量环境中，并实现两个系统的同步。capaNCDT 6500系统的设置和配置可以通过网络浏览器轻松完成。 特性 - 测量范围（毫米）： - 0.05 | 0.2 | 0.5 | 0.8 | 1 | 2 | 3 | 5 | 10 - 分辨率最大。 0.0375纳米 - 线性度最大。 0.01µm - 频率响应 8.5kHz (-3dB) - 数据率（数字输出）7.8kHz - 模拟输出（电压/电流） - 以太网、EtherCAT - 模块化 - 多达8个通道 - 外部或内部前置放大器 - 通过网络界面进行用户友好的设置和配置 最大的分辨率 capaNCDT 6500系统是为需要亚纳米分辨率的测量任务而设计的。它的优势在半导体工业和实验室应用的定位任务中表现得特别好。模块化的capaNCDT 6500是为多通道应用设计的。多达8个传感器可以通过前置放大器连接到信号调节电子装置。 通过网络界面易于使用 由于有一个用户友好的网络界面，控制器和传感器的整个配置过程无需使用任何附加软件。