产品概述TFG6220 电容式系统用于高精度测量导电薄膜(例如电池薄膜)的厚度。外部真空装置将样品吸附并拉平,以提供无皱的参考面。系统为预装配设计,适用于离线随机抽样的质量检验,便于快速部署使用。
测量功能- 通过真空平整薄膜以消除褶皱并确保可重复的定位
- 测量支架配备上下两只电容传感器及集成测量插件以便于参考定位
- 通过 sensorTOOL(网页界面)进行数据采集与可视化
应用适用于导电薄膜厚度的离线快速检测,用于质量控制和工艺监测,例如电池薄膜。
特性 / 技术参数- 分辨率:10 nm
- 重复性:1 µm
- 可测薄膜厚度: < 1 mm
- 测量原理:两只电容传感器读数的补偿计算
- 样品处理:外部真空装置用于平整与夹紧
- 系统配置:预装配,开箱即用
- 软件:sensorTOOL 用于可视化与设置