彩色共焦传感器 confocalDT IFS2407-xHT/VAC

用于厚度测量距离测量用非接触式

概述
confocalDT IFS2407 系列为高温环境下的非接触距离/位移测量提供解决方案。HT/VAC 型号在高达 200 °C 的环境下可实现可靠测量，具备紧凑光学设计和低放气特性，满足超高真空 (UHV) 及洁净室应用要求。多种量程和可选 90° 光路型号便于在受限安装空间中灵活布置。

主要特点

• 可在高达 200 °C 的环境中可靠运行
• 低放气性：适用于 UHV 和洁净室
• 紧凑共焦点色差设计，适合受限安装空间
• 提供多种量程及 90° 光束路径型号
• 不锈钢外壳（材料 1.4404）

主要型号与规格

• confocalDT IFS2407-0,8HT/VAC
  • 测量范围 (mm)：0.8
  • 线性度：最高 < ±0.18 µm
  • 分辨率：最高 < 6 nm
  • 低放气性：适用于 UHV 和洁净室
  • 可在高达 200 °C 下可靠测量
  • 外壳材料：不锈钢 1.4404
• confocalDT IFS2407-2HT/VAC
  • 测量范围 (mm)：2
  • 线性度：最高 < ±0.44 µm
  • 分辨率：最高 < 10 nm
  • 低放气性：适用于 UHV 和洁净室
  • 可在高达 200 °C 下可靠测量
  • 外壳材料：不锈钢 1.4404
  • 可选 90° 光束路径型号
• confocalDT IFS2407-4HT/VAC
  • 测量范围 (mm)：4
  • 线性度：最高 < ±0.8 µm
  • 分辨率：最高 < 24 nm
  • 低放气性：适用于 UHV 和洁净室
  • 可在高达 200 °C 下可靠测量
  • 外壳材料：不锈钢 1.4404
  • 可选 90° 光束路径型号

应用领域

• 精密机械制造
• 半导体行业
• 需要在高温或超高真空环境下进行高精度测量的场合

特性 / 规格汇总

• 系列：confocalDT IFS2407
• 量程选项：0.8 mm、2 mm、4 mm
• 线性度范围（视型号）：最高可达 < ±0.18 µm（取决于量程）
• 分辨率范围（视型号）：最高可达 < 6 nm（取决于量程）
• 温度等级：可在高达 200 °C 环境下稳定工作
• 真空兼容性：低放气性，适用于 UHV
• 材料：不锈钢外壳（1.4404）
• 安装灵活性：提供 90° 光路型号以适配受限安装空间