平动位移台 MS15

XY 轴压电双轴

对由10^ (- 6) mbar决定的高真空条件 在x和y方向的3.5 mm旅行 15 x 15 mm脚印 超与压力折衷惯性驱动的小微型翻译阶段。MS15的真空编辑。