热量流量计 FF-109 FLEXI-FLOW
质量用于气体液体

热量流量计 - FF-109 FLEXI-FLOW - Mass Flow ONLINE BV - 质量 / 用于气体 / 液体
热量流量计 - FF-109 FLEXI-FLOW - Mass Flow ONLINE BV - 质量 / 用于气体 / 液体
热量流量计 - FF-109 FLEXI-FLOW - Mass Flow ONLINE BV - 质量 / 用于气体 / 液体 - 图像 - 2
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产品规格型号

Vvv技术
热量
类型
质量
液体类型
液体, 用于气体
材质
不锈钢, 铝制
通信协议
MODBUS, USB, 蓝牙
保护程度
IP40
应用
工业, 用于低流量, 实验室
其他特性
紧凑型
工艺温度

最多: 50 °C
(122 °F)

最少: 0 °C
(32 °F)

工艺压力

16 bar
(232.06 psi)

重复精度

0.2 %

产品介绍

产品概述
  • 8种预安装气体,通过Bronkhorst FlowSuite可用22种气体
  • 流量和温度测量
  • 紧凑设计
  • 高达16 bar(g)
  • 通过免费软件Bronkhorst FlowSuite进行蓝牙和USB-C连接
  • 由于TCS技术,响应迅速

预安装气体和范围
气体 | 最大范围
N₂, 空气, H₂ | 50 ln/min
O₂ | 45 ln/min
Ar, CH₄ | 40 ln/min
He | 70 ln/min
CO₂ | 35 ln/min

多流体能力
通过免费软件Bronkhorst FlowSuite,您可以在仪器上添加22种可用气体之一或创建混合物。这样,您就拥有了适用于您的应用的多流体仪器:C₂H₂, 空气, C₃H₄ #1, Ar, CO₂, CO, C₃H₆ #1, D₂ #1, C₂H₆, C₂H₄, He, H₂, Kr, CH₄, Ne, N₂, N₂O, O₂, C₃F₈, C₃H₆ #2, C₃H₈, C₃H₄ #2.
您可以通过蓝牙轻松将仪器连接到手机,并使用该应用程序。或者,可以使用适当的电缆将仪器连接到PC。

FF-109 FLEXI-FLOW 50 ln/min的特点
  • 多参数输出:实际质量流量和温度(仪器)
  • 几乎适用于所有类型的气体或气体混合物
  • 通过蓝牙或USB-C进行简单安全的连接
  • 高级诊断功能
  • 通过板载气体数据库和实时转换实现高精度
  • 易于配置
  • MTBF 145年
  • 独特的TCS(Through Chip Sensor)
  • 快速响应 <30ms
  • 紧凑设计
  • Namur NE107状态指示

技术规格
测量/控制系统
流量范围 | 1...50 ln/min
精度 | ±1.5% Rd加上±0.5% FS(在校准条件下)
重复性 | < ± 0.2% Rd
调节比 | 1:50
压力等级(PN) | 16 bar(g) (232 psi(g))
温度等级 | 0 … 50 °C (32°F … 122°F)
工作压力 | 0.8 … 17 bar(a)
预安装气体 | 空气, N₂, O₂, H₂, Ar, He, CH₄, CO₂(嵌入式气体数据,适用于22种独特气体及其任意混合物)
标准校准气体 | N₂
响应时间(传感器) | <30 ms
温度系数 | 流量传感器:零0.015% FS/ºC; 跨度0.05% Rd/ºC
泄漏完整性,外部 | 典型< 2 x 10-9 mbar l/s He
姿态灵敏度 | 安装在任何位置,姿态灵敏度可忽略不计

机械部件
材料(湿润部件) | 铝,不锈钢,氮化硅,环氧树脂,氧化铝,玻璃
测试压力 | 25 bar(g)
工艺连接 | G1/2”BSSP ISO 1179腔体
密封材料 | FKM 51415
重量 | 250克
防护等级 | IP40

电气特性
电源 | +24 VDc ± 10%
最大功耗 | 0.5瓦特
数字通信 | Modbus-RTU / FLOW-BUS
电气连接 | 9针D-sub公头

应用
  • 反应溅射
    • 快速跟踪设定点以控制层厚度和透明度
    • 应用内的灵活性大动态范围
  • 分析设备
    • 微量元素分析,气相色谱,ICP光谱,OES光谱,质谱
    • 出色的重复性和长期稳定性
    • 分析级;低排气。快速流量控制,即使在非常低的流量下。
  • 燃料电池
    • 在H₂,空气,O₂和CO₂流量测量和控制中,短期和长期都非常准确和可重复
    • 快速响应流量测量和控制,以确保任何时候的准确性
    • 宽动态范围流量测量和控制,以确保宽流量范围内的准确性
    • 适用于空间受限的移动应用的紧凑型

特性 / 技术规格
  • 型号: FF-109 FLEXI-FLOW
  • 流量范围: 1...50 ln/min
  • 精度: ±1.5% Rd加上±0.5% FS
  • 重复性: < ± 0.2% Rd
  • 压力等级: 16 bar(g)
  • 温度等级: 0 … 50 °C
  • 工作压力: 0.8 … 17 bar(a)
  • 预安装气体: 空气, N₂, O₂, H₂, Ar, He, CH₄, CO₂
  • 嵌入式气体数据: 22种独特气体及其混合物
  • 标准校准气体: N₂
  • 响应时间: <30 ms
  • 温度系数: 流量传感器:零0.015% FS/ºC; 跨度0.05% Rd/ºC
  • 泄漏完整性: 典型< 2 x 10-9 mbar l/s He
  • 姿态灵敏度: 安装在任何位置,可忽略不计
  • 材料(湿润部件): 铝,不锈钢,氮化硅,环氧树脂,氧化铝,玻璃
  • 测试压力: 25 bar(g)
  • 工艺连接: G1/2”BSSP ISO 1179腔体
  • 密封材料: FKM 51415
  • 重量: 250克
  • 防护等级: IP40
  • 电源: +24 VDc ± 10%
  • 最大功耗: 0.5瓦特
  • 数字通信: Modbus-RTU / FLOW-BUS
  • 电气连接: 9针D-sub公头

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