热量流量计 FF-105 FLEXI-FLOW

质量用于气体液体

主要特点

• 8种预安装气体，通过Bronkhorst FlowSuite可用22种气体
• 流量和温度测量
• 紧凑设计
• 高达16 bar(g)
• 通过免费软件Bronkhorst FlowSuite进行蓝牙和USB-C连接
• 由于TCS技术，响应速度快

预安装气体
气体 | 最大范围
N₂, 空气, H₂ | 500 mln/min
O₂ | 450 mln/min
Ar, CH₄ | 400 mln/min
He | 700 mln/min
CO₂ | 350 mln/min

通过FlowSuite的附加气体
通过免费软件Bronkhorst FlowSuite，您可以添加22种可用气体之一或在仪器上创建混合物。这样，您就拥有了一个适用于您的应用的多流体仪器：C₂H₂, 空气, C₃H₄ #1, Ar, CO₂, CO, C₃H₆ #1, D₂ #1, C₂H₆, C₂H₄, He, H₂, Kr, CH₄, Ne, N₂, N₂O, O₂, C₃F₈, C₃H₆ #2, C₃H₈, C₃H₄ #2.
您可以通过蓝牙轻松将仪器连接到手机，并使用应用程序。或者，可以使用适当的电缆将仪器连接到PC。

FF-105 FLEXI-FLOW 500 mln/min的特点

• 多参数输出：实际质量流量和温度（仪器）
• 几乎适用于所有类型的气体或气体混合物
• 通过蓝牙或USB-C进行简单且安全的连接
• 高级诊断功能
• 通过车载气体数据库和实时转换实现高精度
• 易于配置
• MTBF 145年
• 独特的TCS（Through Chip Sensor）
• 快速响应 <30ms
• 紧凑设计
• Namur NE107状态指示

技术规格
测量/控制系统
流量范围：10...500 mln/min
精度：±1.5% Rd加上±0.5% FS（在校准条件下）
重复性：< ± 0.2% Rd
调节比：1:50
压力等级（PN）：16 bar(g)（232 psi(g)）
温度等级：0 … 50 °C（32°F … 122°F）
工作压力：0.8 … 17 bar(a)
预安装气体：空气、N₂、O₂、H₂、Ar、He、CH₄、CO₂
标准校准气体：N₂
响应时间（传感器）：<30 ms
温度系数：流量传感器：零0.015% FS/ºC; 跨度0.05% Rd/ºC
泄漏完整性，外部：典型< 2 x 10-9 mbar l/s He
姿态灵敏度：安装在任何位置，姿态灵敏度可忽略不计

机械部件
材料（湿润部件）：铝、不锈钢、氮化硅、环氧树脂、氧化铝、玻璃
测试压力：25 bar(g)
工艺连接：G1/8”BSSP ISO 1179腔体
密封材料：FKM 51415
重量：250克
防护等级：IP40

电气特性
电源：+24 VDc ± 10%
最大功耗：0.5瓦特
数字通信：Modbus-RTU / FLOW-BUS
电气连接：9针D-sub公头

应用

• 反应溅射
  • 快速跟踪设定点以控制层厚度和透明度
  • 应用内的灵活性大动态范围
• 分析设备
  • 微量元素分析、气相色谱、ICP光谱、OES光谱、质谱
  • 出色的重复性和长期稳定性
  • 分析级别；低排气。快速流量控制，即使在非常低的流量下。
• 燃料电池
  • 在短期和长期内对H2、空气、O2和CO2流量测量和控制非常准确且可重复
  • 快速响应流量测量和控制，以确保任何时候的准确性
  • 大动态范围流量测量和控制，以确保在广泛流量范围内的准确性
  • 适用于空间受限的移动应用的紧凑型设计

特点 / 技术规格

• 型号：FF-105 FLEXI-FLOW
• 最大流量：500 mln/min
• 预安装气体：空气、N₂、O₂、H₂、Ar、He、CH₄、CO₂
• 通过FlowSuite可用的22种气体
• 蓝牙和USB-C连接
• 压力等级：16 bar(g)
• 防护等级：IP40
• 电源：+24 VDc ± 10%
• 重量：250 g