热量流量计 FF-103 FLEXI-FLOW

质量用于气体玻璃

主要特点

• 8种预装气体，通过Bronkhorst FlowSuite可用22种气体
• 流量和温度测量
• 紧凑设计
• 最高16 bar(g)
• 通过免费软件Bronkhorst FlowSuite的蓝牙和USB-C连接
• 由于TCS技术的快速响应

预装气体和最大范围
气体 | 最大范围
N₂, 空气, H₂ | 50 mln/min
O₂ | 45 mln/min
Ar, CH₄ | 40 mln/min
He | 70 mln/min
CO₂ | 35 mln/min

多流体能力
通过免费软件Bronkhorst FlowSuite，您可以在仪器上添加22种可用气体之一或创建混合物。这样，您就拥有了一个适用于您的应用的多流体仪器：C₂H₂, 空气, C₃H₄ #1, Ar, CO₂, CO, C₃H₆ #1, D₂ #1, C₂H₆, C₂H₄, He, H₂, Kr, CH₄, Ne, N₂, N₂O, O₂, C₃F₈, C₃H₆ #2, C₃H₈, C₃H₄ #2.
您可以通过蓝牙轻松将仪器连接到手机，并使用应用程序。或者，可以使用适当的电缆将仪器连接到PC。

FF-103 FLEXI-FLOW 50 mln/min的特点

• 多参数输出：实际质量流量和温度（仪器）
• 几乎适用于所有类型的气体或气体混合物
• 通过蓝牙或USB-C的简单安全连接
• 高级诊断功能
• 通过板载气体数据库和实时转换实现高精度
• 易于配置
• MTBF 145年
• 独特的TCS（Through Chip Sensor）
• 快速响应 <30ms
• 紧凑设计
• Namur NE107状态指示

应用

• 反应溅射
  • 快速跟踪设定点以控制层厚度和透明度
  • 应用内灵活性的广泛动态范围
• 分析设备
  • 微量元素分析、气相色谱、ICP光谱、OES光谱、质谱
  • 出色的重复性和长期稳定性
  • 分析级别；低排气。快速流量控制，即使在非常低的流量下。
• 燃料电池
  • 在H₂、空气、O₂和CO₂流量测量和控制中，短期和长期都非常准确和可重复
  • 快速响应流量测量和控制，以确保任何时候的准确性
  • 广泛动态范围流量测量和控制，以确保在广泛流量范围内的准确性
  • 适用于空间受限的移动应用的紧凑设计

技术规格

• 测量/控制系统:
  • 流量范围: 1...50 mln/min
  • 精度: ±1.5% Rd加上±0.5% FS（校准条件下）
  • 重复性: < ± 0.2% Rd
  • 调节比: 1:50
  • 压力等级（PN）: 16 bar(g) (232 psi(g))
  • 温度等级: 0 … 50 °C (32°F … 122°F)
  • 工作压力: 0.8 … 17 bar(a)
  • 预装气体: 空气、N₂、O₂、H₂、Ar、He、CH₄、CO₂（22种独特气体及其任意混合物的嵌入式气体数据）
  • 标准校准气体: N₂
  • 响应时间（传感器）: <30 ms
  • 温度系数: 流量传感器: 零 0.015% FS/ºC; 跨度 0.05% Rd/ºC
  • 泄漏完整性，外部: 典型 < 2 x 10⁻⁹ mbar l/s He
  • 姿态灵敏度: 安装在任何位置，姿态灵敏度可忽略不计
• 机械部件:
  • 材料（湿润部件）: 铝、不锈钢、氮化硅、环氧树脂、氧化铝、玻璃
  • 测试压力: 25 bar(g)
  • 工艺连接: G1/8”BSSP ISO 1179腔体
  • 密封材料: FKM 51415
  • 重量: 250克
  • 防护等级: IP40
• 电气特性:
  • 电源: +24 VDc ± 10%
  • 最大功耗: 0.5瓦
  • 数字通信: Modbus-RTU / FLOW-BUS
  • 电气连接: 9针D-sub公头