气体分配系统 JW-200-VMB

压缩空气工业用途

阀门集管箱与气体柜/面板（VMB/VMP）

概述
VMB（阀门集管箱）和VMP（阀门集管面板）为工业环境中高纯度及特殊气体的受控分配模块。它们可将单一气源分配至多个出口（通常4–8路），用于半导体厂、实验室及特殊气体配送系统，在处理危险、反应性或超高纯度气体时确保安全运行与维护。

功能与应用

• 配置：用于危险/反应性气体的封闭式气体柜，或用于惰性气体的面板式配置。
• 控制方式：从手动至可集成PLC的全自动控制。
• 安全系统：排风/置换、真空发生器、UV/IR 检测、有毒气体监测、紧急切断阀、防爆柜体及自锁门。
• 高纯度设计：轨道焊接集管、可置换外壳及与半导体级气体兼容的接触材料。
• 专用柜：用于处理发火性/高度反应气体的TMA柜，带洒水系统、泄漏检测及专用排气。
• Scrubber尾气处理柜：通过化学洗涤与过滤中和有害副产物，满足环保要求。
• 典型应用：半导体厂、特殊气体散装配送、原子层沉积（ALD）、实验室与研究环境。

技术参数
型号：JW-200-VMB、JW-100-VMB
规格：4S / 6S / 8S
特制气体柜尺寸：W870×D340×H1680
控制柜电源：220VAC，50Hz，500W
加热电源：220VAC，50Hz，1–6kW
置换气：PN2，1/4” MVCJ
真空：GN2，1/4” MVCJ
VENT 排水管：1/2” MVCJ
气动气源：CDA driver，1/4" SWG
柜体通风：外径100mm，70 m3/hr
标准设备：防爆柜、防爆自锁门、防爆观察窗、远程切断
操作界面：7" 彩色触摸屏

可选

• UV/IR 传感器
• 面板加热
• 以太网通信模块
• 高温开关
• 烟雾传感器

支持气体（示例）
SiH4、NF3、NH3、N2O、HCl（具体选择依柜体配置与接触材料而定）

技术规格

• 品牌：Jewellok
• 型号：JW-200-VMB、JW-100-VMB
• 输出数量 / sticks：4S / 6S / 8S
• 特制柜尺寸：W870×D340×H1680
• 控制柜电源：220VAC，50Hz，500W
• 加热电源：220VAC，50Hz，1–6kW
• 置换系统：PN2，1/4” MVCJ
• 真空系统：GN2，1/4” MVCJ
• VENT 排水管：1/2” MVCJ
• 气动气源：CDA driver，1/4" SWG
• 柜体通风：外径100mm，70 m3/hr
• 标准设备：防爆柜、防爆自锁门、防爆观察窗、远程切断
• 操作界面：7" 彩色触摸屏
• 可用选项：UV/IR 检测、面板加热、以太网模块、高温开关、烟雾探测器
• 典型应用：高纯度气体分配、TMA 反应性/发火气体柜、BSGS 大流量系统与尾气处理