概述JW-300-GC 是一款全自动气体柜,适用于超高纯度(UHP)和高纯度特种气体的精确输送。提供单瓶和双瓶两种配置,集成自动切换、受控吹扫及安全系统,适用于半导体、微电子、实验室和工业气体分配场景。
技术参数- 型号:JW-300-GC
- 配置:单瓶或双瓶
- 柜体尺寸(双瓶):W800 × D633 × H2172 mm
- 柜体尺寸(单瓶):W600 × D661 × H2104 mm
- 控制电源:220 VAC,50 Hz,500 W
- 加热电源:220 VAC,50 Hz,1–6 kW(可配置)
- 吹扫接口:PN2,1/4" MVCJ
- 高压保持接口:HPN2,1/4" MVCJ
- 真空接口:GN2,1/4" MVCJ
- 排气/排水:1/2" MVCJ
- 气源(气动):CDA driver,1/4" SWG
- 柜体通风:外径150 mm;硅烷 810 m³/h;其它气体 204 m³/h
- 用户界面:10 英寸彩色触摸屏
标准配置- 气瓶自动切换与自动吹扫
- 防爆柜体,带自锁门及防爆观察窗
- 泄漏报警与远程紧急切断
- 负压报警
可选项- UV/IR 火焰探测器
- Cylinder Shutboy
- 面板加热
- 以太网通信模块
- CGA Guarder
- 超流量开关
- 气动缸控制
- 称重秤
- 气瓶加热
应用- 半导体与微电子气体分配
- 研究实验室与研发机构
- 涂层、表面处理及特殊制造线
- 需要受控输送 UHP/高纯度气体的工艺
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