高压气体存储系统 JW-300-GR

半导体用高纯度高压气瓶存储与减压控制柜 JW-300-GR
在半导体制造中，高纯度、高压力特殊气体的安全存储与精确供给对于工艺稳定性和安全性至关重要。JW-300-GR 系统将气瓶存储柜与减压控制柜结合，满足洁净室需求及工业安全标准。

气瓶存储柜
用于氮气、氩气、氢气等特殊气体的存放，提供安全的存放空间，保护气瓶免受外部风险并限制未经授权的访问。柜体采用耐腐蚀材料，配备强制通风以防气体滞留、耐火构件和锁闭系统。内部布局与清晰标识便于在高产量晶圆厂中快速识别和更换。

减压控制柜
减压控制柜内装调压器、截止阀与监测装置，按要求将气体以受控压力输送至设备。集成传感器与报警逻辑可检测泄漏或压力偏差并触发安全响应。部件与密封件选择符合洁净室兼容性，防止高纯度气体污染。自动化控制与远程监控选项可降低停机时间并提升工艺可追溯性。

概述
存储柜与减压控制柜配合使用，可确保特殊气体的安全存放与精确供应，支持半导体生产对精度与法规合规性的要求。

技术参数
Model: JW-300-GR
Specification: Single bottle/double bottle
Special gas cabinet size: Double bottle: W800*D520*H1957; Single bottle: W500*D520*H1957
Control cabinet power supply: Control power supply: 220VAC, 50HZ, 500W; Heating power supply: 220VAC, 50HZ, 1-6KW
Purge: PN2,1/4” MVCJ
High pressure holding: HPN2,1/4” MVCJ
Vacuum: GN2.1/4” MVCJ
VENT drain pipe: 1/2” MVCJ
Pneumatic air source: CDA driver, 1/4″ SWG
Operation interface: 7″ color touch screen/buttons

可选项

• 称重模块
• 面板加热
• 超流量开关
• 以太网通信模块
• CGA Guarder

特性 / 技术规格

• Model: JW-300-GR
• Specification: Single bottle/double bottle
• Special gas cabinet size: Double bottle: W800*D520*H1957; Single bottle: W500*D520*H1957
• Control cabinet power supply: 220VAC, 50HZ, 500W; Heating power supply: 220VAC, 50HZ, 1-6KW
• Purge: PN2, 1/4” MVCJ
• High pressure holding: HPN2, 1/4” MVCJ
• Vacuum: GN2, 1/4” MVCJ
• VENT drain pipe: 1/2” MVCJ
• Pneumatic air source: CDA driver, 1/4″ SWG
• Operation interface: 7″ color touch screen / buttons
• Optional features: 称重模块; 面板加热; 超流量开关; 以太网通信模块; CGA Guarder