扩散炉 N-TOP

室式燃气自动

N-TOP Con 已成为 N 型电池产业化的主流技术路线之一。在电池制造过程中，硼扩散主要用于制造正面的 PN 结，这是关键工艺之一。 炉体专为高温工艺（900~1100 ℃）设计，可有效防止炉体变形，延长炉体使用寿命； 快速冷却炉体：最新专利技术使炉体温度快速降至所需温度，冷却速度提高 25% 以上，炉管内温度均匀性明显改善； 先进的级联控温和智能冷却技术，提高了温度稳定性和控温精度，缩短了温度设定时间； 先进的全闭环压力控制系统，可实时准确地检测和控制工艺炉腔内的气压； 高效的废气处理系统，干湿分离，自动排放，大大延长维护周期，降低维护成本，保证运转率和工艺稳定性； 创新的不落地工艺方法，石英舟在工艺过程中悬浮，可有效降低石英管的应力和变形，减少石英器件之间的粘连，延长使用寿命； 独特的炉门密封设计，实现了金属与反应腔的隔离，减少了热量损失，大大延长了密封环的使用寿命，保证了压力的稳定性；