PECVD镀膜机 DLC800

概述
适用于小批量耐磨、低摩擦涂层生产的紧凑型DLC镀膜设备。Huasheng DLC800为小批量工业镀膜生产设计的紧凑型设备，结合磁控溅射（MS）与PECVD技术，沉积Cr/WC/a-C:H DLC涂层，具有低摩擦、耐磨、表面平整及良好涂层附着性等特性。

主要特性

• 紧凑型腔体设计，减少占地，适用于灵活的小批量生产。
• MS + PECVD混合镀膜工艺，制备表面平整、膜结构可靠的Cr/WC/a-C:H DLC涂层。
• 等离子清洗与SET刻蚀以提高基材—涂层的附着力。
• 自动化工艺控制、模块化功能组件、便于维护的设计，简化操作。

性能要点

• 典型涂层厚度：2–4 µm
• 低摩擦系数：≤0.1
• 涂层硬度：≈2500 HV
• 典型沉积温度：<200°C

产品参数
型号：DLC800
涂层技术：MS + PECVD
刻蚀：SET
外形尺寸：L4850 × W1600 × H2400 mm
腔体容积：0.8 m³
有效涂覆面积：Φ650 × 400 mm
涂层沉积温度：<200°C
产能：按订单定制
最大承载重量：500 kg
主轴直径：Φ170 mm
处理时间：6–8 h

特性 / 技术规格

• 型号：DLC800
• 涂层：Cr/WC/a-C:H DLC（MS + PECVD）
• 典型厚度：2–4 µm
• 摩擦系数：≤0.1
• 硬度：≈2500 HV
• 有效涂覆面积：Φ650 × 400 mm
• 最大承载重量：500 kg
• 腔体容积：0.8 m³
• 沉积温度：<200°C
• 每批处理时间：6–8 h